Вакуумные установки

[gar298]

ну капол поднять енто да  а вод 4т в  могеть напылиться материал  разрядника ионной очистки

[ysdanko]

Электропривод подъема и опускания колпака вакуумной камеры с усилием 600 кг требует тока не менее 8 ампер.

А это то зачем?? Колпачок вроде небольшой...Руками ребенок поднимет.

[Геннадий 66.2]

Здравствуйте Борис Юрьевич!, почему вы говорите о давлении 5х10-5 степени мм Hg столба? не маловато
для резистивного напыления? покрытие не будет при таком вакууме "седым"? может  быть Па. а не мм.?
У меня есть знакомый он работает на производстве компакт дисков я разговаривал с ним, он говорит при низком вакууме
покрытие на диски получаются с концентрической сединой, они применяют, реактивное магнетронное распыление алюминия, в качестве рабочего
газа естественно аргон.
Врема покрытия одного диска занимает 2 сек, камера покрытия  где стоит мишень с "шлюзованием".

[gar298]

покрытие на диски получаются с концентрической сединой, они применяют, реактивное магнетронное распыление алюминия, в качестве рабочего
газа естественно аргон.

при резестивном  давление вв должно быть намного выще  чем при магнетроне а вод ионная очистка прим током вакууме  как при магнетроне
колпачки разные бувають у меня  подьем воздух  давит масло  а оно шток  вес прим 400кг

[Геннадий 66.2]

Кстати таким-же образом напыляют кремний для ДВД-9, вот хотел уточнить сколько-же надо
для термического распыления? почитал-просмотрел немало литературы, что-то маловато
5х10-5мм, я конечно дилетант в этой новой теме для меня, проясните картину "плиззз"

[Борис Юрьевич]

Здравствуйте Борис Юрьевич!, почему вы говорите о давлении 5х10-5 степени мм Hg столба? не маловато

Я говорил о нижнем пределе напыления таких металлов, как золото , висмут, серебро, которые не подвержены большому окислению. Конденсаторы слюдяные ССГ напыляют с применением механического бустерника, насоса Рутса, золото напыляли на крупногабаритные резонаторы раньше, таким же методом. Что касается напыления алюминием бытовых зеркал, то нужен вакуум не ниже 1х10 минус 4 степени. Для астрономических зеркал необходим вакуум не ниже1х10 минус 5 степени, с предварительным прогревом зеркала до температуры не менее 180-220 град. Цельсия, в процессе ионной очистки.

[Борис Юрьевич]

Кстати таким-же образом напыляют кремний для ДВД-9, вот хотел уточнить сколько-же надо
для термического распыления? почитал-просмотрел немало литературы, что-то маловато
5х10-5мм, я конечно дилетант в этой новой теме для меня, проясните картину "плиззз"

С кремнием, несколько сложнее, все зависит каким способом напыляют кремний, можно напылить кремний катодным и магнетронным способом, здесь вакуум небольшой, точнее среда аргон, при парциальном давлении кислорода ниже 1х10минус 5 степени, а по аргону вакуум 5х10 минус 3 степени.
Есть электронно-лучевой метод напыления кремния, то здесь необходим вакуум не менее 1х10минус 5 степени.
Термическим способом крепний, как правило не распыляют, в связи с тем, что кремний активно вступает в реакцию с материалами нагревателей, образуя силициды и десилициды металлов, которые по давлению паров превосходят материалы их образующие.

[Геннадий 66.2]

Паскаль или мм.? разница  на порядок!?
760мм= 103КПа.............
1Бар=100КПа

[gar298]

Кстати таким-же образом напыляют кремний для ДВД-9,

могеть и  с кремнеорганикой  в процессе  напыления  магнетрона  с последующей  сшивкой её   ионной бомбардировко или вч разрядом или уф

[Геннадий 66.2]

Кстати таким-же образом напыляют кремний для ДВД-9,

могеть и  с кремнеорганикой  в процессе  напыления  магнетрона  с последующей  сшивкой её   ионной бомбардировко или вч разрядом или уф

Не, они пилят с монокристалла..........

[ysdanko]

колпачки разные бувають у меня  подьем воздух  давит масло  а оно шток  вес прим 400кг

Так у Бориса Юрьевича размер камеры будет 265 мм (я так понимаю это диаметр) при разумной толщине стенки эта кастрюля будет весить не больше 10 кг...

[gar298]

Не, они пилят с монокристалла.

RF магнетрон

 купол  могеть быть и с рубашкой те2 корпус или со змеивеком для охлаждения  ну и примочки типа оптический конторь мотор  на сферу нагреватель  и в низу должен быть широкий фланец  с уплотнением на камере  тоже из нержи и толстый

[Борис Юрьевич]

А это то зачем?? Колпачок вроде небольшой...Руками ребенок поднимет.

Этот электропривод стандартный, предназначен и для силового прижима вакуумной камеры к плите, поэтому взят с запасом.

[ysdanko]

Ну вот как бы установка с размером камеры, примерно как Вы планируете...http://ckp-nano.msu.ru/equipment/91
Колпак поднимается вручную, ничего кроме смотровых окон на нем нет...Все прибамбасы находяться под колпаком. Установка предназначена для напыления различных материалов на подложки....Комплектуеца как резистивными испарителями, так и ионными...На подобной установке я напылял зеркало диаметром 210 мм...(впритирку может войти и 300)
Не понимаю зачем вам лишнии сложности с какими то приводами, когда все это делается значительно проще...

[Борис Юрьевич]

Ну вот как бы установка с размером камеры, примерно как Вы планируете...http://ckp-nano.msu.ru/equipment/91
Колпак поднимается вручную, ничего кроме смотровых окон на нем нет...Все прибамбасы находяться под колпаком. Установка предназначена для напыления различных материалов на подложки....Комплектуеца как резистивными испарителями, так и ионными...На подобной установке я напылял зеркало диаметром 210 мм...(впритирку может войти и 300)
Не понимаю зачем вам лишнии сложности с какими то приводами, когда все это делается значительно проще...

Не забывайте, что у меня проблемы с левой рукой.

[ysdanko]

Ну там колпак откидывается на шарнире, можно и одной рукой справиться...
Ну и кроме того Вы же поборник ТБ, а на подобных устройствах работать одному запрещено

[gar298]

а вот тут просто типа лючки  со всех сторон
вод мой колпачёк кормилец  тяжелый

[Борис Юрьевич]

Ну там колпак откидывается на шарнире, можно и одной рукой справиться...
Ну и кроме того Вы же поборник ТБ, а на подобных устройствах работать одному запрещено

Извините, забыл поблагодарить за информацию. У меня к сожалению такой установки нет, да и зачем тратить деньги на то, что можешь сделать не хуже. Я уже информацию посмотрел, но она настолько скупа, что по ней особенно ничего не поймешь. Даже нет цены ВУП-5.

[ysdanko]

Да это просто ссылка на установку с диаметром колпака, примерно таким, как вы планируете... для примера.
У gar298 установка уже других габаритов, естественно и колпак там много массивней...

[Борис Юрьевич]

а вот тут просто типа лючки  со всех сторон
вод мой колпачёк кормилец  тяжелый

А это лично ваша техника, или предприятия?