Вакуумные самоделки

[Геннадий 66]

Итак, собрал кучку хлама:  ВИТ-3, 2НВР-5ДМ -3шт один сказали на издыхании но еще держиться, 1НВР-9Д, дифф. Н100/350, затвор23ВЭ-100, сильфоны ду25 ду40, клапан соленоид В.В. ду25, Лампы ПМТ-2 ПМИ-2, сильфонный ввод вращения, остается открытым вопрос о размере камеры, естественно гложет "гигантомания"

 Хочется прочесть  обоснованный совет на каком диаметре  камеры остановиться? , при условии что выход на режим до состояния ионной очистки будет занимать не более 1,5 часа, при предполагаемой идеальной герметичности камеры и арматуры ?

Еще, как насчет того, что Н100/350 требует форвакуумного насоса 2л/сек что если поставить 2НВР-5ДМ- 5,5л/сек нужно будет-ли его "придушивать".
Предполагаю не использовать форбаллон, качать камеру отдельным "фором" для этого понадобиться еще один клапан, оказалось что при этом на линию его придется устанавливать  хотя-бы сорбционную ловушку.
В маслодифузионном насосе будет полиэтилсилоксановая жидкость, нашел в литературе что допустимо ее применение.

[deen]

Молодец Ген, рад что руки потихоньку подбираются к вакууму.
Жаль посоветовать ничего не могу.

[Игорь А. Грибко]

Еще, как насчет того, что Н100/350 требует форвакуумного насоса 2л/сек что если поставить 2НВР-5ДМ- 5,5л/сек нужно будет-ли его "придушивать".

 Это хорошо. 2л/сек -это минимальная производительность форвакуумного насоса для обеспечения паспортных характеристик паромаслянного ,т е. чем больше тем лучше.

качать камеру отдельным "фором" для этого понадобиться еще один клапан, оказалось что при этом на линию его придется устанавливать  хотя-бы сорбционную ловушку.

Сорбционная ловушка ,на мой взгляд будет излишней.

Хочется прочесть  обоснованный совет на каком диаметре  камеры остановиться? , при условии что выход на режим до состояния ионной очистки будет занимать не более 1,5 часа, при предполагаемой идеальной герметичности камеры и арматуры ?

Размер камеры должен определятся применением .Универсальную камеру сделать сложно. У себя по этой причине планирую сменные колпаки.Как правило покрывать чеще приходится небольшие поверхности и слишком расточительно для этого использовать большую камеру.

[Дмитрий Маколкин]

В маслодифузионном насосе будет полиэтилсилоксановая жидкость, нашел в литературе что допустимо ее применение.

Эта?
http://www.vakuumltd.ru/vakuumnye-masla/38-zhidkost-pfms-25-l.html

[ysdanko]

В маслодифузионном насосе будет полиэтилсилоксановая жидкость, нашел в литературе что допустимо ее применение.

Эта?
http://www.vakuumltd.ru/vakuumnye-masla/38-zhidkost-pfms-25-l.html

От лукавого это все. Надо искать ВМ-5 и смотреть характеристики по упругости насыщеных паров.

[Геннадий 66]

В маслодифузионном насосе будет полиэтилсилоксановая жидкость, нашел в литературе что допустимо ее применение.

Эта?
http://www.vakuumltd.ru/vakuumnye-masla/38-zhidkost-pfms-25-l.html

Нет не эта это полифенил -метил силоксан, у меня полиэтлсилоксан, они схожи, то что по ссылке немного лучше, моя лучше ВМ-1 примерно как алкарен-24

[gar298]

Ген  пробуй  пока на простом масле  вм5
фор баллон  тебе  ненужен тк  2 насоса  те 1 камеру др постоянно  на диффе вод если типа через клапан  1  фор  подвести    ко 2  фору  в паралель посля  откачки камеры то будет гуд

 ну  и колпаки мона сделать разные  тока предусматреть уплотнительные  кольца  и  испаритель  с боку  и чтоб перекрывал 05 оазмера  оснастки  и расстояние  от испарителя до стекла не менее 200мм ну  и 2 испарителя для люминия  и упрочнения

[Геннадий 66]

Здравствуй Игорь!!, наконец-то появился......, нету еще клапана на второй форр, какой объем можно качать "соткой"?
Сегодня собрал движек для управления затвором на 27 вольт 10000об\мин прилепил  планетарный редуктор 6,(54).

[gar298]

какой объем можно качать "соткой"?

енто  не комне спроси- Юрьевича  или АСТЕЛЛ  или РИГЕЛЬ подскажуть
  думаю что камеру  350мм и высотой 250 мм потянеть основное  чтоб фор  хороший  и течи не было  ну   могеть подольше  цикл
а тот дифф что от меня    не айс

[Геннадий 66]

а тот дифф что от меня    не айс

На том, что от тебя со временем поменяю "кастрюльку", все есть основная оболочка, трубы под форр-линию нет конуса под эжекционную трубку,
Дно оставлю родное.

[anton19286]

Предполагаю не использовать форбаллон, качать камеру отдельным "фором" для этого понадобиться еще один клапан, оказалось что при этом на линию его придется устанавливать  хотя-бы сорбционную ловушку.

Обычно все одним форвакуумным обходятся, ставят два клапана, один между насосами, другой сразу на объем, причем, клапана проще ручные. В принципе, если никуда не спешить, можно обойтись вообще без клапанов и без затвора. Откачиваете объем форвакуумным через холодный диффузионник, потом включаете плитку, как откачает, напыляете, потом плитку выключить, подождать часок и можно напускать. С трубомолекулярным ещё проще, я уж забыл, когда последний раз пользовался клапанами и затворами.

[Геннадий 66]

Можно качать и через холодный дифф, без затвора.
Только ждать надо будет до полного остывания масла. К тому-же при разрежении начиная с 10-15 мм Hg начинается диффузия паров форвакуумного масла в откачиваемый объем она усиливается с прогревом масла в форвакуумнике и углублении вакуума в объеме.
поэтому на форр качающий  с камеры желательно ставить сорбционную ловушку, заполняется цеолитом или что лучше,- активированным углем ( лучший сорбент по маслу)

При откачке с атмосферы самой камеры форр будет терять масло а оставшееся загрязняться водой, к тому-же работа НВР-ра на атмосферу снижает его ресурс, есть турбина качающая до 400мм водяного столба.

При аварийной остановке фора, необходимо быстро зарывать форвакуумную магистраль, позтому там лучше соленоидный привод клапана, в этом случае камера будет засираться парами масла  за несколько секунд этому поможет отсутствие форбалона.

Вот "прилепил" двигатель постоянного тока на управление затвором, конечно сам затвор надо будет еще "шаманить".

[anton19286]

Вы какие-то ужасы рассказываете. Ловушки зачем-то. Живой двухступенчатый форвакуумный насос с нормальным маслом сам по себе качает до 10^-2 мм рт.ст., что для вакуумной камеры высотой в 10-15 сантиметров вполне достаточно и для нанесения алюминия из пара и для магнетронного распыления и для плазменной очистки. Ресурса насоса на камере ведерного объема тоже хватит не на один год, тем более с любительским использованием. Так ли уж нужно гнаться за безмаслянным вакуумом?
Мне кажется, больше проблем может быть от перегретых токовводов.

[Игорь А. Грибко]

Вы какие-то ужасы рассказываете. Живой двухступенчатый форвакуумный насос с нормальным маслом сам по себе качает до 10^-2 мм рт.ст., что для вакуумной камеры высотой в 10-15 сантиметров вполне достаточно и для нанесения алюминия из пара и для магнетронного распыления и для плазменной очистки. Ресурса на камере ведерного объема тоже хватит не на один год, тем более с любительским использованием. Так ли уж нужно гнаться за безмаслянным вакуумом?

10^-2 мм рт.ст. не хватит.Надо минимум 10-4 для более-менее качественного покрытия, а полноценное покрытие и хорошая защита требует 10-5. Эти данные не теоретические а из практики. Что касается применения масляных насосов, требуется уход за камерой -через каждые два три цикла необходимо всю поверхность камеры протирать чистым нефрасом для обезжиривания.

[anton19286]

Спасибо, понятно. А кто-нибудь пытался наносить защитное покрытие на серебро?

[Геннадий 66]

На форуме обсуждался этот вопрос:- Защитное покрытие само-по себе пористое и не особо хорошо защищает серебро,
серебро нанесенное вакуумным способом очень ненадежно держится на стекле.

Хочется верить что RF магнетрон солидно расширяет возможности установки, из всех металлов на стекле отлично  держится никель очевидно надо сначала наносить подслой никеля а потом серебро, - это мои домыслы.
  На то-что ВЧ магнетрон позволяет наносить массу диэлектриков это факт, возможно среди них можно найти тот который подойдет в роли защиты серебряного зеркала.

[gar298]

чистым нефрасом для обезжиривания.

НЕЕЕЕ  им ненадо    ацетон  или растворитель да  и так часто не надо  только после общей  чистки
 Ген   раньше  пылили хром  под люминий хром на стекле  гуд(тока потома типа перешлифовка  а не травление)  нуу  ооочень плохо травиться хром особенно   когда  полежить

[Игорь А. Грибко]

Цитата: rigel14 от Сегодня в 11:14:42
чистым нефрасом для обезжиривания.

НЕЕЕЕ  им ненадо    ацетон  или растворитель да  и так часто не надо  только после общей  чистки
 Ген   раньше  пылили хром  под люминий хром на стекле  гуд(тока потома типа перешлифовка  а не травление)  нуу  ооочень плохо травиться хром особенно   когда  полежить

Это не с потолка.Из руководства к УВМ-15, замена нефраса какой-то эфир. Как раз ацетон не рекомендуется, а нефрас нужен настоящий. Травить хром надо азоткой.

[ysdanko]

Это не с потолка.Из руководства к УВМ-15, замена нефраса какой-то эфир. Как раз ацетон не рекомендуется, а нефрас нужен настоящий. Травить хром надо азоткой.

Петролейный эфир. Финишная очистка - медицинский этиловый спирт.

[Игорь А. Грибко]

Это не с потолка.Из руководства к УВМ-15, замена нефраса какой-то эфир. Как раз ацетон не рекомендуется, а нефрас нужен настоящий. Травить хром надо азоткой.

Петролейный эфир. Финишная очистка - медицинский этиловый спирт.
 

+100