Вакуумные самоделки

[anton19286]

Хочется верить что RF магнетрон солидно расширяет возможности установки, из всех металлов на стекле отлично  держится никель очевидно надо сначала наносить подслой никеля а потом серебро, - это мои домыслы.

В какой-то диссертации читал, что под серебро напыляли титан, иначе оно на стекле постепенно стягивается в капельки.
Во, нашел http://www.hcei.tsc.ru/images/dissertations/Solovjev.pdf
Там делали ионную имплантацию титана, плюс для серебра импульсный магнетрон.

[Astel-150]

Я напылял серебро на стекло без предварительных слоев и никуда оно не стягивалось в капельки.

[Геннадий 66]

Ген   раньше  пылили хром  под люминий хром на стекле  гуд(тока потома типа перешлифовка  а не травление)  нуу  ооочень плохо травиться хром особенно   когда  полежить

Хром должен хорошо стравливаться солянкой, если полежит , да плохо,- пленка окисла затрудняет стравливание.

[Игорь А. Грибко]

Начал собирать камеру. Для проверочного пуска не хватает сильфонного соединения вентиля фора с выходом турбомолекулярного насоса, напускного клапана , вводного щитка 220 В.
 Между камерой и турбиком поставил 80мм клапан с ручным управлением - он же угол 90гр. Турбонасос получился в вертикальном положении. Для однофазного питания пришлось поставить преобразователь для форвакуумного насоса.

[gar298]

соединения вентиля фора с выходом турбомолекулярного насоса,

пока поставь  обычный  пластиковый шланг  не тонкий  а внутрь  пружинку растянутую  для армирования  счя  такие делають  вместо нержи гофры

[Игорь А. Грибко]

пока поставь  обычный  пластиковый шланг  не тонкий  а внутрь  пружинку растянутую  для армирования  счя  такие делають  вместо нержи гофры

Его надо ещё найти. Соединения KF25. У меня лежит сильфон KF16 , не хотелось бы делать переходники - это ещё два дополнительных соединения.

[anton19286]

обычный водопроводный "шланг ПВХ напорно-всасывающий".
или шланг из вакуумной резины. раньше их же использовали как вентили,
пережимая специальным зажимом.
можно из медной трубки спаять.

[Игорь А. Грибко]

Его надо ещё найти. Соединения KF25. У меня лежит сильфон KF16 , не хотелось бы делать переходники - это ещё два дополнительных соединения.

Сегодня благополучно приладил сильфон KF16. Провёл пробный пуск маленькой камеры диаметр 100мм. К сожалению не получилось полностью запустить  датчик вакуума .Надо вникать в алгоритм работы. Судил по звуку. Форвакуумный насос при включении парил 5 секунд, через 30 секунд равномерный звук- признак предварительного вакуума. Через минуту запустил турбомолекулярный . Он разгонялся около трёх минут. На полных оборотах гонял 30 минут .Насос пока без обдува.Слегка стал тёплым. Выключил.Минут десять останавливался. Выключил форвакуум. После двух часов пустил воздух ,судя по сильному свисту грубые течи отсутствуют.
 Теперь надо освоить вакуумметр, тогда можно ставить колпак больше .

[gar298]

молодца поставь обычный от компа  или побольше вентилятор   или сам турбик  на  люминиевую платформу  типа как радиатор
 а звук  турбика   при откачке  изменился на более высокий типа писка комара то гуд высокий есть

[Игорь А. Грибко]

молодца поставь обычный от компа  или побольше вентилятор   или сам турбик  на  люминиевую платформу  типа как радиатор
 а звук  турбика   при откачке  изменился на более высокий типа писка комара то гуд высокий есть

Звук не совсем комариный , но высокий. При запуске повышается минуты три ,потом стабилизируется.Гонял 30минут - на одной высокой ноте.

[arkturz]

молодца поставь обычный от компа  или побольше вентилятор

вытяжные вентиляторы типа ,,канальный,,без фланца,на 220 в отлично охлаждают,почти не шумят,можно немного снизить производителность,включив впослед конденсатор на 0.25--4 мкф,подобрать эксперементально.Для защиты от разряда кондер зашунтировать.Места там много и с питаловом не заморачиваться.Кожух при надобности можно сделать из жестянки.В микроволновках тоже такие моторчики на охлаждение магнетрона ставят

[gar298]

На чипмакере  впаривають 4 клапана 25мм вакуумные  могеть кому нуно

[Грехов Михаил]

А вообще какого уровня ваккуум достижим в подобных установках для напыления? Сколько десятых (сотых, тысячных) мм рт. ст?

[Игорь А. Грибко]

А вообще какого уровня ваккуум достижим в подобных установках для напыления? Сколько десятых (сотых, тысячных) мм рт. ст?

Без прогрева камеры 10-4__10-5, с прогревом 10-6.

На чипмакере  впаривають 4 клапана 25мм вакуумные  могеть кому нуно

Уже заказал.

[arkturz]

Начал собирать камеру. Для проверочного пуска не хватает сильфонного соединения вентиля фора с выходом турбомолекулярного насоса, напускного клапана , вводного щитка 220 В.
 Между камерой и турбиком поставил 80мм клапан с ручным управлением - он же угол 90гр. Турбонасос получился в вертикальном положении. Для однофазного питания пришлось поставить преобразователь для форвакуумного насоса.

Юрьич советует развернуть насос-затвор-камера на 180 град,чтоб камера была над тумбой,убрав частотник в другое место,что-бы дополнить камеру собственным креплением.Вес камеры не должен давить на соединения фланцев,а иметь свои опоры.Какие-то силы(не запомнил названия сил) могут натворить бед при данном монтаже.Стоит прислушаться,я-то длинный монолог о допусках,правилах компоновки вакуумных приблуд,а особенно о правильных вакуумметрах,который произнес возмущенный профессионал, воспроизвести все-равно в точности не смогу,выделил главный аспект
ЗЫ-еще про шпильки камеры советовал посчитать усилие прижима,толщину шпилек и их материал(свойства)на растяжимость.Если короче,то на вид они тонковаты

[Игорь А. Грибко]

Юрьич советует развернуть насос-затвор-камера на 180 град,чтоб камера была над тумбой,убрав частотник в другое место,что-бы дополнить камеру собственным креплением.Вес камеры не должен давить на соединения фланцев,а иметь свои опоры.Какие-то силы(не запомнил названия сил) могут натворить бед при данном монтаже.Стоит прислушаться,я-то длинный монолог о допусках,правилах компоновки вакуумных приблуд,а особенно о правильных вакуумметрах,который произнес возмущенный профессионал, воспроизвести все-равно в точности не смогу,выделил главный аспект
ЗЫ-еще про шпильки камеры советовал посчитать усилие прижима,толщину шпилек и их материал(свойства)на растяжимость.Если короче,то на вид они тонковаты

 Сразу видно глаз профессионала. Расположение как на фото было задумано.То что камера висит в воздухе -временное явление. Камера будет опираться на кронштейны, а в районе фланца турбонасоса будет креление, но это после того как определюсь с некоторыми механическими узлами.
Устройство стяжки на шпильках временное. В будущем планируется плита и колпак с фланцем . Снизу к плите будет присоединяться 100 мм камера на когтевых зажимах,так как сейчас к круглому фланцу. Плита будет крепиться на консоли и будет частью каркаса. Такая конструкция позволит очень быстро разобрать всю камеру и легко модернизировать.
 Такое расположение как сейчас удобно в смысле эксплуатации испарителей.Если развернуть как советуете ,то до них потом не добраться.
 Внизу слева где много свободного пространства будут блоки питания сопутствующих устройств(испарителей,высоковольтный и т.п.).

На данный момент меня больше беспокоит вакуумметр.Он был в эксплуатации и по видимому дисплей не использовался т. е. был программно отключен. Управление и программирование ведётся по DeviceNet. К сожалению на практике не сталкивался с такой системой. Сейчас приходится вникать. Насколько на данный момент понимаю для перепрограммирования нужен или блок управления с таким протоколом или через комп с помощью специального адаптера.

[gar298]

у меня  есть вакууметр  только его головка так тама  просто выход  от 0-10 по  напруге те вольты а сам блок потома его  раскладывал на давление могеть  у тебя тоже так

[Игорь А. Грибко]

у меня  есть вакууметр  только его головка так тама  просто выход  от 0-10 по  напруге те вольты а сам блок потома его  раскладывал на давление могеть  у тебя тоже так

Это другой вариант . Есть аналоговый выход -это как раз у тебя. У меня цифровой выход и управление через  DeviceNet.
354001-354004-это аналоговые. 354006-354020 цифровые. У меня 354006.

Хотел прицепить документацию -слишком большой обьём.

[Игорь А. Грибко]

Есть вопрос. Какой ток нужен для 25мм вольфрамового (фольга 0,1) испарителя?
Хочу собрать блок питания да попробовать пыльнуть.

[arkturz]

через латр пропусти для начала первичку транса (осветительного.на 12 в)ток потом замеряешь.и можно расчет родного блока делать