Вакуумные самоделки

[Ба@ша]

Вод  установка   без масляными насосами   с ионным источником  и магнетроном
http://www.youtube.com/watch?v=fHValCOk5_M#ws

Я у них 2-е книжки купил по реактивному магнетронному напылению.

[gremlin150]

Всем привет хочу показать чем я занимаюсь и какое оборудование использовал, дабы поделиться опытом и получить советы, предложения, замечания по технологии.

моя старенькая установка напыления электронно-лучевым методом на оптику, на стадии запуска(сейчас я на ней не работаю)

откачные посты

Диффузионник

камера внутри

испарители

 

[gremlin150]

установки магнетронного напыления.

мишень

конусный магнетрон

магнетроны в работе

ТМН состояние нерабочее(((

[gremlin150]

моя новая установка резистивного испарения

камера

молибденовые короба

выкройка под короба

гранулы алюминия

вольфрамовая лодочка после процесса испарения алюминия

короб прогарел

испарители с УВН-71

проба испарения алюминия со спирали

испарение резистивного материала PC-5406
есть еще много интересных фотографий, но все в один вечер я выложить не могу, а тем более прокомментировать их.

[Дмитрий Маколкин]

Всем привет хочу показать чем я занимаюсь и какое оборудование использовал, дабы поделиться опытом и получить советы, предложения, замечания по технологии.

Очень интересно! Ждём продолжения рассказа. Какие покрытия делаете?  Какие материалы испаряете?

[gremlin150]

Ранее пылил на оптику ZrO2, SiO2 и CeO2 MgO2

Таблетка оксида циркония

Тигли с загрузкой колотого кремния и таблетками оксида магния

таблетка оксида кремния испарение со сканированием, оксид циркония со сканированием и оксид циркония с ручным выставлением луча

Диэлектрические зеркала, просветления фильтры, светоделители.........итд итп

Оптика в титановых оправках и в касете

эксперимент с определением равномерности по радиусу

эксперимент с напылением на поликарбонат магнетроном

Эксперимент с источником ионов чистка травление ассистирование.

неудачный эксперимент с напылением на поликарбонат

обычное силикатное стекло, еле закрепил.....

силикатное стекло не любит быстрый нагрев(((

непонятная фигня, но есть подозрение, что это азотная ловушка

[gremlin150]

Борьба с напылением алюминия

отожженная лодочка из вольфрама

после испарения алюминия отжег лодочку и и после смог скребком убрать окалины

уже третий процесс выдерживает)))

пробую молибденовую фольгу

лодочки без термокомпенсатора сильно изгибаются во время процесса

спиралька просто из проволоки быстренько лопнула

по совету одного из форумчан пробую вот эту конструкцию

молибден быстро прогорел вольфрам истончился и пару жил лопнуло

ааааа попытка не пытка

жилы прогорели

сделали переходники, теперь есть возможность проверить толстостенный вольфрам

не спешите после отжига лодочки напускать атмосферу, лодочка долго остывает

загрузка алюминия

переборщил с загрузкой материала и слишком резкий нагрев, алюминий закипел и расплескался, задев испарители

дешево, сердито с УВН-71

короче ребята самый лучший вариант, останавливаюсь на нем.

[gar298]

В нашем полку прибыло   
стеклышко лопнуло тк рядом тигель и луч  пушки    и охлаждаема поверхность минимум см 15  поднять
 и на последнем  фото  плохое охлаждение  и контакт   расплавился  зажимной  с права     на пленке  будет алюмед

[gremlin150]

В нашем полку прибыло   
стеклышко лопнуло тк рядом тигель и луч  пушки    и охлаждаема поверхность минимум см 15  поднять
 и на последнем  фото  плохое охлаждение  и контакт   расплавился  зажимной  с права     на пленке  будет алюмед

Расстояние от тигля до стекла 600мм. скорее всего резко нагрел до 200 градусов, надо было плавно.
Охлаждение действительно плохое, так как для пробы этих  лодочек были изготовлены медные удлинители.

Вот еще пару фото и видео:

короб разогревается

задел на будущее. еще не запущены

ТМН...

работа конусного магнетрона
VIDEO0003
работа магнетронки
вращение планетарной карусели
работа планетарной карусели в момент напыления
электронный луч
Работа электронного луча по диоксиду циркония, в режиме прицеливания в таблетку

[Дмитрий Маколкин]

Вот еще пару фото и видео:

короб разогревается

задел на будущее. еще не запущены

ВУ-2М?

работа планетарной карусели в момент напыления

А какой максимальный диаметр детали?

[gremlin150]

Да ВУшка. На планете 68й есть оправы под 70мм.

[gar298]

ляпота
  если планетарку снять то мона 500мм  оснастку  на вал  прикрутить если вал  по центру обычно так
фотки магнетрона  по подробней мона  внутри^-^  а как  так лопатки собрали на тмн   и гена  жив

[gremlin150]

ляпота
  если планетарку снять то мона 500мм  оснастку  на вал  прикрутить если вал  по центру обычно так
фотки магнетрона  по подробней мона  внутри^-^  а как  так лопатки собрали на тмн   и гена  жив

В принципе да если снять планеты, то диаметр можно ставить около 600 мм, но надо решать проблему неравномерности по радиусу. обратите внимание на цвет покрытия на полусфере
проблема неравномерности
видна неравномерность.

Подробных фотографий конструкции магнетрона у меня нет, как-то не фоткал...
Накрылось пару турбин. Причем если при разрушении первого было подозрение на прорыв атмосферы в ТМН, то второй почему разрушился неизвестно.  Блок питания сейчас работает с третьим ТМНом.
нестабильный вакуум
колебание вакуума при испарении диэлектрика+работа оптического контроля.

ионный источник
VIDEO0063
работа ИИ

[gar298]

 на люминии не так явно неравномерность он лятить  если особенно  со спирали во все стороны ну соответственно  дальше испаритель надо крепить и ориентировать на среднюю часть оснастки
а так  без масла  вообще гуд  если ешо  фор насосы поставить  сухие

[gremlin150]

продолжаем мучить тему алюминия. керамика 22хс





 
установка дала течь.....мммм перегрел

[gar298]

не забываем хорошее охлаждение токовводов тк пока керамический тигель прогрееться  вокруг в камере  усё горячее   и особенно посля напыления  охладить испаритель тк керамику рветь при резком охлаждении при напуске атмрсферы

[gremlin150]

не забываем хорошее охлаждение токовводов тк пока керамический тигель прогрееться  вокруг в камере  усё горячее   и особенно посля напыления  охладить испаритель тк керамику рветь при резком охлаждении при напуске атмрсферы

неприятностей огреб кучу с этой керамикой .....а все по неопытности. 
черт меня дернул отжечь ее в атмосфере кислорода.....вся гарь и сажа с керамики осела на стенках камеры темным налетом(((
долгий нагрев и плавное остывание это соблюдено, но как оказалось в последствии камеру нельзя долго прогревать, благо прокладки электродов выдержали, а вот подводка аргона снаружи камеры силиконовым шлангом, уплотненным свечлоком потекла...... и в отсутствии течиискателя я всю пятницу убил, пока нашел место течи.
но испарять с керамики мне понравилось

[gar298]

  А фотку тигля посля люминия  мона

[gremlin150]

  А фотку тигля посля люминия  мона

ну как бы она есть в пред предыдущем сообщении...

[gar298]

а чё черный расплав