Возможно кому-то будут интересны результаты эксперимента.
Все , кто занимается вакуумной техникой, знают,что камеру лучше держать под вакуумом. Но мне не попадалась информация ,где достоверно в цифрах это показано. Пришлось самому провести несколько экспериментов .
Сначала откачал камеру после длительного пребывания при атмосферном давлении. За 1 час работы насосов достигнут вакуум 4,1*10-5 мбар. Закрыл затвор между турбонасосом и камерой и оставил на 10 часов. Через десять часов вакуум в камере был
2*10-2мбар .Провёл повторную откачку .За 30 минут достигнут вакуум 3,1*10-6 мбар. Камеру оставил под вакуумом ещё на 10 часов. Провёл ещё одну откачку . Вакуум 1,2*10-6 мбар.
Очевидно происходит дегазация камеры близкая к прогреву. Тот же порядок улучшения вакуума.
После всех откачек в камеру был произведён напуск воздуха на 10 минут и произведена откачка в течении 1 часа. Вакуум достигнут 3,1*10-5. Таким образом даже короткое пребывание на воздухе сводит почти на нет дегазацию камеры.
На практике имеет смысл в ответственных случаях ,если на камере нет прогрева, делать загрузку (например вечером),производить откачку. Оставлять камеру под вакуумом до утра, когда после повторной откачки производить напыление.
