А разве zygo32"LAIS уже не доступен? Попробовать довести свой Эталон до уровня zygo32"LAIS, используя собственный волновой фронт на предыдущей стадии доводки.
Волновой фронт zygo32" накладывался на предыщий волновой фронт на котором аттестовывался zygo32"? И так до бесконечности можно рассуждать о накладывании волнового фронта.

При этом ответьте на вопрос.
Предел аттестации какой будет в лямбдах волнового фронта в реальных условиях
Надо реальные условия изготовления и атесттациии учитывать не теоретические.
Местные (локальные) деформации постоянные при такой точности не по величине, по расположению на интерферограмме? 0,04 полосы в одну сторону, 0,04 в другую на контролируемой детали.
Идет аттестация термоклимата с схеме контроля.
Местные деформации можно лучше было в схеме Коммана довести, по размаху они совпадают с zygo. Аттестация в двух независимых схемах дала один результат
Будьте ближе к производству не к теории.
Теоретическую туфту гнать, про изготовленную точность Л/20 волнового фронта контрольной плоскости и выше с вычитание или нет, не собираюсь.
