Стенд контроля

[Дмитрий Маколкин]

Для изготовления контрольной плоскости Л/10 нужна контрольная плоскость Л/20. Для изготовления контрольной плоскости Л/20 нужна контрольная плоскость Л/40. И так далее, нет достоверно аттестованной контрольной оптики.

Осторожно предположу, что тут можно применить жидкостный эталон. С превеликими хлопотами, но всё же...

[art-xrom]

Для изготовления контрольной плоскости Л/10 нужна контрольная плоскость Л/20. Для изготовления контрольной плоскости Л/20 нужна контрольная плоскость Л/40. И так далее, нет достоверно аттестованной контрольной оптики.

Осторожно предположу, что тут можно применить жидкостный эталон. С превеликими хлопотами, но всё же...

ну без 40% тут точно никак

[AAV]

Для изготовления контрольной плоскости Л/10 нужна контрольная плоскость Л/20. Для изготовления контрольной плоскости Л/20 нужна контрольная плоскость Л/40. И так далее, нет достоверно аттестованной контрольной оптики.

Осторожно предположу, что тут можно применить жидкостный эталон. С превеликими хлопотами, но всё же...

Можно еще методом 3 стекл помучиться, 1 метр и 1,5 метровые плоские зеркала изготовить. Можно в вакуумной камере.
Только работать эталон будет в реальных условиях.
Предел аттестации какой будет в лямбдах волнового фронта в реальных условиях (термостабилизация всего зеркала, тепловые потоки, вибрация)?
С какой точностью позволят условия, провести эту аттестацию. Не увидеть ошибки на зеркале, аттестовать все зеркало.
К примеру 200-500мм.

[AAV]

  ну без 40% тут точно никак

Прошлый век.    

[ekvi]

Осторожно предположу, что тут можно применить

А разве zygo32"LAIS уже не доступен? Попробовать довести свой Эталон до уровня zygo32"LAIS, используя собственный волновой фронт на предыдущей стадии доводки.

[AAV]

А разве zygo32"LAIS уже не доступен? Попробовать довести свой Эталон до уровня zygo32"LAIS, используя собственный волновой фронт на предыдущей стадии доводки.

Волновой фронт zygo32" накладывался на предыщий волновой фронт на котором аттестовывался zygo32"? И так до бесконечности можно рассуждать о накладывании волнового фронта.
При этом ответьте на вопрос.

Предел аттестации какой будет в лямбдах волнового фронта в реальных условиях

Надо реальные  условия изготовления и атесттациии учитывать не теоретические.
Местные (локальные) деформации постоянные при такой точности не по величине, по расположению на интерферограмме? 0,04 полосы в одну сторону, 0,04 в другую на контролируемой детали.
Идет аттестация термоклимата с схеме контроля.
Местные деформации можно лучше было в схеме Коммана довести, по размаху они совпадают с zygo. Аттестация в двух независимых схемах дала один результат
Будьте ближе к производству не к теории.
Теоретическую туфту гнать, про изготовленную точность Л/20 волнового фронта контрольной плоскости и выше с вычитание или нет, не собираюсь.

[ekvi]

лучше было в схеме Коммана довести

На своей "кухне" я так бы и сделал: плоский эталон положил по-положе, а измерения проводил с готовой сферой ф 100 мм; "эталон" вращал бы относительно вертикальной оси градусов через тридцать; отснятую "панораму" обрабатывал бы, суммируя снимки в программе DFTF.

[AAV]

На своей "кухне" я так бы и сделал

На своей "кухне" можете делать всё что хотите. Надеюсь покажите нам пример как это делается. 
К сожелению мы стеклотеры не обладаем таким мастерство изготовления и аттестации оптики лучше Л/10 волнового фронта в отличии от Вас. У нас нет условий аттестации таких диаметров выше этой точности, которые имеете Вы.

[ysdanko]

«Заключение
 В данной работе представлены новый объектив для нанолитографии на длине волны
13.5 нм и методика восстановления формы поверхностей асферических зеркал объектива по
суммарным аберрациям волнового фронта,
прошедшего через объектив, которая не требует
использования корректоров волнового фронта.
В настоящее время начата работа по коррекции
формы подложек для зеркал объектива» (С)
http://www.unn.ru/pages/e-library/vestnik/19931778_2014_-_1-2_unicode/28.pdf

Используется без эталонный интерферометр    с эталонной сферической волной сравнения. На основе волоконного  источника сферической волны (ВИСВ)

[ekvi]

методика восстановления формы поверхностей асферических зеркал объектива по
суммарным аберрациям волнового фронта,

Замечтательная методика!.. и интерферометр с 2 волоконными ИЗ.
И обратите внимание на конструкцию волоконного светоделителя.

[библиограф]

Тут ещё статья про такой интерферометр
https://sci-hub.st/10.1063/1.2900561
Я специально нашел статью в журнале Приборы и техника эксперимента(№2 1998) с описанием технологии изготовления такого световода, сходящегося на конус.
Ничего сложного, одномодовое волокно травят в капле фтористого аммония.
Но для контроля, что получилось и отработки режима нужен сканирующий электронный микроскоп

[Сергей Казаков]

    Хрень какая-то .

[библиограф]

 Света, конечно, очень мало, зато, если всё правильно сделано, фронт волны идеальный. 

[Сергей Казаков]

   В обычном интерферометре пятак засвеченный вторичным зеркалом телескопа итак лямблия на тыщу .

[ekvi]

изготовления такого световода, сходящегося на конус.
Ничего сложного, травят в капле фтористого аммония.
Но для контроля, что получилось и отработки режима нужен сканирующий электронный микроскоп

Так и речь у них - о Л = 14 нм (!) - в 40х меньше наших 556 нм!

Зато методически - от и до. Если бы ещё и ПО ...
Эх, "если бы молодость знала, если бы старость могла ..."

[AAV]

Используется без эталонный интерферометр    с эталонной сферической волной сравнения. На основе волоконного  источника сферической волны (ВИСВ)

Где эти интерферометры? Исследования идут давно, почему не применяются?

НИЗКОКОГЕРЕНТНЫЙ ИНТЕРФЕРОМЕТР С ДИФРАКЦИОННОЙ ВОЛНОЙ СРАВНЕНИЯ И ИСТОЧНИК ДВУХ СФЕРИЧЕСКИХ ЭТАЛОННЫХ ВОЛН ДЛЯ НЕГО

Однако конструкция источника двух эталонных сферических волн требует для его встраивания в интерферометр последующей настройки и позиционирования относительно зеркала, перенаправляющего свет от исследуемого объекта на регистратор, а также применения двух прецизионных систем позиционирования, что увеличивает габаритные размеры источника и снижает надежность его работы. При этом конструкция источника такова, что как перед работой, так и в ходе работы требуется сложная настройка и проверка взаимного положения источников и других элементов интерферометра, что не позволяет использовать источник в интерферометрах, предназначенных для встраивания в качестве элемента в промышленное оптическое оборудование.

Ошибки измерений интерферометров с дифракционной волной
сравнения

Однако эти интерферометры обладают рядом недостатков, сильно ограничивающих их широкое применение.

[art-xrom]

Мы уходим от названия темы, если хотите, то можем отдельное обсуждение создать, но все из области белоболистики

[Skyangel]

Потихоньку дополняем стенд железом. Печатаем детали для вертикальной схемы контроля плоскостей до 100мм.

[Сергей Казаков]

   Притащил бы кто телевью окуляр в мм 15 фокуса да сравнить бы.  Простым плеслом .
   Пока писал и понял - писают что их телевью даже не фианит .
   Плесл хоть "всего " на 40 градусах поля , но рисует прилично до краев . А навороченные вероятно и этого не дают .
   Пока имхо , но посмотрим.

[Skyangel]

15мм нету, есть 9мм х100град.  скайровер. Могу взять для теста, если интересно)