Просветление оптики на кухне

[Игорь А. Грибко]

А как контролируется толщина слоёв?

Классически - по экстремумам отражения или пропускания, в зависимости от задачи
"Ловим лямбу на 4". А при навыке - можно и лямбу на 8, но только на проверенных ранее слоях.

Кроме интерференционной зависимости используются кварцевые измерители толщины напыляемого слоя,на основе эффекта изменения частоты при изменении массы кварцевого резонатора.Они позволяют очень точно мерить слои при напылении без вращения,на малые поверхности.

[Agena]

используются кварцевые измерители толщины напыляемого слоя

Конечно. Этот метод используется очень давно и позволяет контролировать нанесение  покрытий толщиной большей, чем интерференционными способами контроля.
Но при нанесении многослойных покрытий однозначно преимущества на стороне интерференционных.
Важна еще наглядность - когда при контроле толщины напыления контроль ведется не по цифровым значениям (мультиметра или осциллографа), а по графику пропускания (отражения) в большом диапазоне частот и очень легко переключаться между испаряемыми материалами по пику или спаду на заданной длине волны, что позволяет достичь большой точности каждого слоя и суммарный эффект, особенно, когда требуются изготовление узкополосных фильтров или поляризаторов.

Но это уже тонкости, которые будут интересны специалистам...

[Игорь А. Грибко]

Но при нанесении многослойных покрытий однозначно преимущества на стороне интерференционных.

Это заблуждение, попробуйте сделать семислойное просветление с дробными коэффициентами применяя контроль по интерференции.
Ваше высказывание верно только для толщин кратных 1/4Л.
Очень много многослойных  покрытий,особенно последнее время,благодаря программам упростившим расчёт,со сложными коэффициентами,контроль в этих случаях очень сложный,продвинутый,учитывающий поляризацию,многополосный  и т.д...

[Agena]

Ваше высказывание верно только для толщин кратных 1/4Л.

Так я и об этом. Все интерференционные покрытия кратны четверти волны.
Применяя же комбинированный вариант контроля с использованием разных длин волн можно сделать толщины слоёв кратными значениям от 75 до 250 нм (в моем варианте контроля) и в заранее рассчитанной последовательности с точным контролем конечного результата, что недоступно при других способах контроля толщин. Это очень важно для коррекции возможных неточностей при количестве слоев больше десяти.

Тем более, программа при расчете покрытий выдает толщину слоя, а далее пересчитывается в четверти длин волн для контроля при нанесении.

попробуйте сделать семислойное просветление с дробными коэффициентами

Если вы укажите толщины слоев, то сделать это несложно, используя разные длины волн для контроля.

[ysdanko]

Конечно. Этот метод используется очень давно и позволяет контролировать нанесение  покрытий толщиной большей, чем интерференционными способами контроля.

Да хороший метод. И позволяет измерять куда меньшие толщины чем интерферометр. Смотрите скрин.
Знакомый занимался этим методом. Утверждал, что метод позволяет контролировать толщины в один молекулярный-атомный слой.