Ионная обработка оптических поверхностей.

[Дмитрий Маколкин]

А мне видятся преимущества этой технологии в возможности "непрерывного" интерфереметрического контроля во время обработки. Грубо говоря где много там и сняли - ЧПУ, блин!

Ну, не все схемы контроля по своим габаритам в камере поместятся... да и тепловыми эффектами пренебрегать не стоит.

[Дмитрий Серегин]

немного ссылок по теме:
Измерение и коррекция формы оптических элементов с субнанометровой точностью
+
ПРОЕКТ ИЗГОТОВЛЕНИЯ РОССИЙСКОГО ЭУФ НАНОЛИТОГРАФА
ДЛЯ ПРОИЗВОДСТВА СБИС ПО ТЕХНОЛОГИЧЕСКИМ НОРМАМ 22 нм
+
ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЙ КОМПЛЕКС ДЛЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПРЕЦИЗИОННОЙ ИЗОБРАЖАЮЩЕЙ ОПТИКИ

[Ivan#]

А разве при ионизации химические соединения не распадаются. Я сильно не вникал в тонкости но трудно представить что электрон может выбить целую молекулу не разрушив электронное соединение. Может материал просто испаряется в вакууме.

[GLOK]

Распадаются конечно....но какую практическую ценность имеет то, что меняется химсостав атмосферы камеры  или не меняется ?
По-любому отсасывать...
На поерхности детали химсостав материала тоже меняется, но практически не имеет значения-тонок уж очень...