A A A A Автор Тема: Самодельная вакуумная установка  (Прочитано 11344 раз)

0 Пользователей и 1 Гость просматривают эту тему.

Оффлайн Astel-150Автор темы

  • *****
  • Сообщений: 3 109
  • Благодарностей: 71
  • Мне нравится этот форум!
    • Сообщения от Astel-150
Вот, наконец, сделал фото своей самодельной вакуумной установки. Диаметр камеры внутренний 200мм, высота 260мм. Наибольший диаметр покрываемой детали 170мм. Установка оснащена двумя резистивными испарителями, электродом ионной отчистки, устройством вращения деталей и двумя окнами для установки фотометра для контроля толщины покрытия в процессе напыления.

Оффлайн Astel-150Автор темы

  • *****
  • Сообщений: 3 109
  • Благодарностей: 71
  • Мне нравится этот форум!
    • Сообщения от Astel-150
Re: Самодельная вакуумная установка
« Ответ #1 : 20 Мар 2005 [20:58:42] »
Вот еще:

Оффлайн Astel-150Автор темы

  • *****
  • Сообщений: 3 109
  • Благодарностей: 71
  • Мне нравится этот форум!
    • Сообщения от Astel-150
Re: Самодельная вакуумная установка
« Ответ #2 : 20 Мар 2005 [21:05:34] »
А это вид на плиту, где видны 2 испарителя, электрод ионной отчистки, окно для фотометра (в центре и запыленное алюминием) и отверстие в откачную систему.
« Последнее редактирование: 20 Мар 2005 [21:07:35] от Astel-150 »

Оффлайн Владимир Николаевич

  • *****
  • Сообщений: 22 945
  • Благодарностей: 346
  • Takahashi Россия и QHYCCD Poccия
    • Skype - gromozeka12    вайбер +7 903 610-62-15
    • Сообщения от Владимир Николаевич
Re: Самодельная вакуумная установка
« Ответ #3 : 21 Мар 2005 [00:14:26] »
Даа, если сами делали уважаю! :D Серьезные трудозатраты! >:(
Клевцов 470мм - 2экз, Доб 355мм, Доб 254, МАК Сантел 230мм, АПО 180мм на Losmandy Titan, бино 150мм, бино 70ED, 70 Non-ED, 28х110, БМТ-110 на колонне, ТПБ-2 на треноге, 10х42ED, 10х50ED.

Оффлайн Anton

  • *****
  • Сообщений: 7 476
  • Благодарностей: 75
    • Сообщения от Anton
Re: Самодельная вакуумная установка
« Ответ #4 : 21 Мар 2005 [01:24:36] »
Ни фига себе, чего умельцы вытворяют!
Круто!
 8)

lorka

  • Гость
Re: Самодельная вакуумная установка
« Ответ #5 : 22 Мар 2005 [14:15:59] »
Действительно КРУТО  :o!
Уважаю, блин!
Ждите вопросов (меня подобный агрегат тоже интересует).
« Последнее редактирование: 22 Мар 2005 [14:18:08] от lorka »

Оффлайн bibliograf

  • *****
  • Сообщений: 881
  • Благодарностей: 50
    • Сообщения от bibliograf
Re: Самодельная вакуумная установка
« Ответ #6 : 22 Мар 2005 [16:40:29] »
 А из какого материала уплотнительное кольцо?

Оффлайн Платонов Вячеслав

  • *****
  • Сообщений: 1 452
  • Благодарностей: 47
  • Мне нравится этот форум!
    • Сообщения от Платонов Вячеслав
Re: Самодельная вакуумная установка
« Ответ #7 : 22 Мар 2005 [17:04:03] »
Грамотно!

А вакуум какой лампочка показывает? Что напылять будете.

Оффлайн Ясь

  • *****
  • Сообщений: 659
  • Благодарностей: 6
  • 110 мм Ньютон f/8 "Добсон Мицарыч"
    • Skype - jar_ohty
    • Сообщения от Ясь
    • Безлюдные Пространства
Re: Самодельная вакуумная установка
« Ответ #8 : 22 Мар 2005 [19:28:22] »
Здорово! Меня тоже интересует, какой вакуум. На высоком вакууме что стоит? Диффузионник? А при напылении пары масла не страшны? А электроннолучевой нагрев планируете делать для напыления SiO2?

Оффлайн Astel-150Автор темы

  • *****
  • Сообщений: 3 109
  • Благодарностей: 71
  • Мне нравится этот форум!
    • Сообщения от Astel-150
Re: Самодельная вакуумная установка
« Ответ #9 : 22 Мар 2005 [20:10:34] »
А из какого материала уплотнительное кольцо?
В качестве уплотнителя я применяю резиновые маслостойкие кольца, применяемые в гидравлических системах, они подходят отлично и по многим параметром превосходят вакуумную, белую резину марки 7889 и доставать легко и дешево.
А вакуум какой лампочка показывает? Что напылять будете.
Вакуум та лампочка которая у меня стоит показывает бесконечный, но ею можно уверенно мерить до 0,001мм. рт. ст. (у меня стоит ПМТ-4), есть у меня и магниторазрядный вакуумметр, но сломана лампа ПММ-8, а достать другую пока не смог. Так могу гарантировать вакуум до 0.0001мм. рт. ст. Напыляю в основном алюминий и MgF2, пробовал медь, титан, никель.
Здорово! Меня тоже интересует, какой вакуум. На высоком вакууме что стоит? Диффузионник? А при напылении пары масла не страшны? А электроннолучевой нагрев планируете делать для напыления SiO2?
Да, в качестве высоковакуумного насоса стоит диффузионник, для борьбы с парами масла, которые в принципе не мешают, я сделал ловушку, охлаждаемую элементами пельтье, для которых пока не сделал блок питания. Электроннолучевой испаритель в эту камеру уже не поместится, планирую его сделать в другую, большего размера.

Оффлайн Morbid

  • ****
  • Сообщений: 445
  • Благодарностей: 0
  • магистр морбидологии и последний из Бруннен Джи
    • Сообщения от Morbid
Re: Самодельная вакуумная установка
« Ответ #10 : 22 Мар 2005 [21:10:11] »
В университете мы работали с такими установками, я знаю насколько это непростой агрегат. Нет слов. Полное восхищение!
Все люди делятся на две категории: на тех, кто выбрасывает бутылки, и тех, кто их собирает ©

Оффлайн Дмитрий Маколкин

  • *****
  • Сообщений: 12 728
  • Благодарностей: 764
  • *********
    • Skype - dmitrymakolkin
  • Награды Призер конкурса астрофото
    • Сообщения от Дмитрий Маколкин
    • Оптика любительских телескопов
Re: Самодельная вакуумная установка
« Ответ #11 : 22 Мар 2005 [21:22:26] »
Очень даже всё по-взрослому!
Маленькая, но грамотная. Остаось только высокий вакуум начать измерять - и в путь!

А как ввод вращения сделан? Какой-нибудь стандартный узел?
А чем фотометрируете? Чем-нибудь самодельным? А SiO напылять пробовали?
Панорамы Луны в моей галерее:
http://www.makolkin.ru/Gallery/gallery.html
Мои дипы: https://deepskyhosting.com/dvmak

zosimov

  • Гость
Re: Самодельная вакуумная установка
« Ответ #12 : 23 Мар 2005 [16:57:50] »
уважаемый человек!
Вы написали, что у Вас нет лампы ПММ-8, у меня сейчас есть на руках лампа ПМТ-6, она вас не устроит?
также есть большая вероятность, что я ее найду нужную лампу. я готов вам ее подарить в обмен на небольшую услугу-ответьте мой на вопрос в этом форуме.

Оффлайн Astel-150Автор темы

  • *****
  • Сообщений: 3 109
  • Благодарностей: 71
  • Мне нравится этот форум!
    • Сообщения от Astel-150
Re: Самодельная вакуумная установка
« Ответ #13 : 23 Мар 2005 [20:20:24] »
А как ввод вращения сделан? Какой-нибудь стандартный узел?
А чем фотометрируете? Чем-нибудь самодельным? А SiO напылять пробовали?
Ввод вращения сделан самодельный, стальной корпус а в нем два сальника резиновых с пружинным кольцом (т.н. кольца Зиммера), а между ними заливается вакуумное масло, и вал, полированный в месте прилегания манжет и двигатель, фото прилагаю. Фотометрирование пока не делал, т.к. не сделал еще фотометр. SiO есть немного (где потом доставать незнаю), но непробовал напылять, защиту пока делаю MgF2.
Вы написали, что у Вас нет лампы ПММ-8, у меня сейчас есть на руках лампа ПМТ-6, она вас не устроит?
также есть большая вероятность, что я ее найду нужную лампу. я готов вам ее подарить в обмен на небольшую услугу-ответьте мой на вопрос в этом форуме.
Спасибо за предложение, но ПМТ-6 мне не подходит, т.к. она расчитана на тот же диапазон, что и ПМТ-4, которую я использую, но требует другой прибор, а если поможете достать ПММ-8, буду премного благодарен.

zosimov

  • Гость
Re: Самодельная вакуумная установка
« Ответ #14 : 24 Мар 2005 [13:24:32] »
Далеко от москвы - это где?
ПММ-8 это примерно какие года производства?
есть в очень недорогом месте пмм-28, также там есть вакууметры годов 80-90 за копеечные цены. (у тебя по виду вакууметр годов 70-х)
поэтому можно собрать систему измерения давления за какие-то очень маленькие деньги.

Но я поскребу в наших запасах может найду ПММ-8.
а вход в установку для лампы какой?

Оффлайн Дрюша

  • *****
  • Сообщений: 4 931
  • Благодарностей: 95
  • Вы сышите только мой голос...
    • Сообщения от Дрюша
Re: Самодельная вакуумная установка
« Ответ #15 : 24 Мар 2005 [15:29:38] »
Пара дилетантских вопросов автору
1. А разве резина в вакууме не газит? Я имею в виду уплотнитель. Или там какая-то особая резина? Тогда вопрос снимается.
2. А что будет, если камеру предварительно наполнить каким-нибудь инертным газом (гелием или аргоном). Сейчас баллон с таким газом можно купить достаточно свободно. Если, скажем, вакуум окажется недостаточно высоким (ну, остаточное давление будет раз в 10-100 больше чем надо), но это остаточное давление будет давлением гелия или аргона (скорее всего, там смесь инертных газов), то они будут сильно мешать осаждению паров металла? А если парциальное давление химически активных газов (прежде всего, кислорода) при этом будет в пределах самой жёсткой нормы?

Оффлайн Дмитрий Маколкин

  • *****
  • Сообщений: 12 728
  • Благодарностей: 764
  • *********
    • Skype - dmitrymakolkin
  • Награды Призер конкурса астрофото
    • Сообщения от Дмитрий Маколкин
    • Оптика любительских телескопов
Re: Самодельная вакуумная установка
« Ответ #16 : 24 Мар 2005 [16:06:59] »
Пара дилетантских вопросов автору
1. А разве резина в вакууме не газит? Я имею в виду уплотнитель. Или там какая-то особая резина? Тогда вопрос снимается.
2. А что будет, если камеру предварительно наполнить каким-нибудь инертным газом (гелием или аргоном). Сейчас баллон с таким газом можно купить достаточно свободно. Если, скажем, вакуум окажется недостаточно высоким (ну, остаточное давление будет раз в 10-100 больше чем надо), но это остаточное давление будет давлением гелия или аргона (скорее всего, там смесь инертных газов), то они будут сильно мешать осаждению паров металла? А если парциальное давление химически активных газов (прежде всего, кислорода) при этом будет в пределах самой жёсткой нормы?

Ну, при невысоком вакууме будут получаться рыхлые осадки с их последующим быстрым окислением. Плёнки при этом будут матовыми. А ещё длина свободного пробега станет меньше, чем размер камеры, что тоже плохо.
В отсутствии течей остаточная атмосфера в камере определяется десорбцией паров воды со стенок.
Панорамы Луны в моей галерее:
http://www.makolkin.ru/Gallery/gallery.html
Мои дипы: https://deepskyhosting.com/dvmak

Оффлайн Astel-150Автор темы

  • *****
  • Сообщений: 3 109
  • Благодарностей: 71
  • Мне нравится этот форум!
    • Сообщения от Astel-150
Re: Самодельная вакуумная установка
« Ответ #17 : 25 Мар 2005 [20:21:36] »
Далеко от москвы - это где?
ПММ-8 это примерно какие года производства?
есть в очень недорогом месте пмм-28, также там есть вакууметры годов 80-90 за копеечные цены. (у тебя по виду вакууметр годов 70-х)
поэтому можно собрать систему измерения давления за какие-то очень маленькие деньги.

Но я поскребу в наших запасах может найду ПММ-8.
а вход в установку для лампы какой?
Я живу в Алма-Ате. Магниторазрядный вакуумметр у меня марки ВМ-1 1964г.в. Посадочный диаметр датчика (ПММ-8) -17,5мм. Если использовать другие датчики, например ПММ-28, то нужен и сам прибор, или как минимум его схема, а так же чтоб датчик соответствовал моему входу -18мм.
1. А разве резина в вакууме не газит? Я имею в виду уплотнитель. Или там какая-то особая резина? Тогда вопрос снимается.
Любая резина газит в вакууме (даже вакуумная), но за счет маленькой площади , выходящей в сторону вакуума, и быстродействия насоса эти недостатки практически не влияют на вакуум в системе.

Hell

  • Гость
Re: Самодельная вакуумная установка
« Ответ #18 : 26 Мар 2005 [19:13:07] »
Поздравляю!!!!!!!!
сделать камеру для напыления зеркал это подвиг уж больно это сложное дело...

Оффлайн Serj

  • *****
  • Сообщений: 4 190
  • Благодарностей: 80
    • Сообщения от Serj
    • Тверской астроклуб
Re: Самодельная вакуумная установка
« Ответ #19 : 31 Мар 2005 [23:41:38] »
Где-то с месяц назад я поучаствовал в демонтаже подобной… :P э-э, ну в общем установки. Дело в том что наш политех избавляется от "ненужного хлама", и моего знакомого попросили взять её на сохранение.
Установка промышленно изготовленная, весит тонну, не меньше. Кстати, уплотнение колпака из чёрной, достаточно эластичной резины.
У меня просьба к автору - подскажите что почитать чайнику, чтобы знать принцип её работы.
Я верю в торжество разума. Не нужно оскорблять мои религиозные чувства!