Самодельная вакуумная установка

[Astel-150]

Вот, наконец, сделал фото своей самодельной вакуумной установки. Диаметр камеры внутренний 200мм, высота 260мм. Наибольший диаметр покрываемой детали 170мм. Установка оснащена двумя резистивными испарителями, электродом ионной отчистки, устройством вращения деталей и двумя окнами для установки фотометра для контроля толщины покрытия в процессе напыления.

[Astel-150]

Вот еще:

[Astel-150]

А это вид на плиту, где видны 2 испарителя, электрод ионной отчистки, окно для фотометра (в центре и запыленное алюминием) и отверстие в откачную систему.

[Владимир Николаевич]

Даа, если сами делали уважаю! Серьезные трудозатраты!

[Anton]

Ни фига себе, чего умельцы вытворяют!
Круто!
 

[lorka]

Действительно КРУТО  !
Уважаю, блин!
Ждите вопросов (меня подобный агрегат тоже интересует).

[bibliograf]

 А из какого материала уплотнительное кольцо?

[Платонов Вячеслав]

Грамотно!

А вакуум какой лампочка показывает? Что напылять будете.

[Ясь]

Здорово! Меня тоже интересует, какой вакуум. На высоком вакууме что стоит? Диффузионник? А при напылении пары масла не страшны? А электроннолучевой нагрев планируете делать для напыления SiO₂?

[Astel-150]

А из какого материала уплотнительное кольцо?

В качестве уплотнителя я применяю резиновые маслостойкие кольца, применяемые в гидравлических системах, они подходят отлично и по многим параметром превосходят вакуумную, белую резину марки 7889 и доставать легко и дешево.

А вакуум какой лампочка показывает? Что напылять будете.

Вакуум та лампочка которая у меня стоит показывает бесконечный, но ею можно уверенно мерить до 0,001мм. рт. ст. (у меня стоит ПМТ-4), есть у меня и магниторазрядный вакуумметр, но сломана лампа ПММ-8, а достать другую пока не смог. Так могу гарантировать вакуум до 0.0001мм. рт. ст. Напыляю в основном алюминий и MgF2, пробовал медь, титан, никель.

Здорово! Меня тоже интересует, какой вакуум. На высоком вакууме что стоит? Диффузионник? А при напылении пары масла не страшны? А электроннолучевой нагрев планируете делать для напыления SiO₂?

Да, в качестве высоковакуумного насоса стоит диффузионник, для борьбы с парами масла, которые в принципе не мешают, я сделал ловушку, охлаждаемую элементами пельтье, для которых пока не сделал блок питания. Электроннолучевой испаритель в эту камеру уже не поместится, планирую его сделать в другую, большего размера.

[Morbid]

В университете мы работали с такими установками, я знаю насколько это непростой агрегат. Нет слов. Полное восхищение!

[Дмитрий Маколкин]

Очень даже всё по-взрослому!
Маленькая, но грамотная. Остаось только высокий вакуум начать измерять - и в путь!

А как ввод вращения сделан? Какой-нибудь стандартный узел?
А чем фотометрируете? Чем-нибудь самодельным? А SiO напылять пробовали?

[zosimov]

уважаемый человек!
Вы написали, что у Вас нет лампы ПММ-8, у меня сейчас есть на руках лампа ПМТ-6, она вас не устроит?
также есть большая вероятность, что я ее найду нужную лампу. я готов вам ее подарить в обмен на небольшую услугу-ответьте мой на вопрос в этом форуме.

[Astel-150]

А как ввод вращения сделан? Какой-нибудь стандартный узел?
А чем фотометрируете? Чем-нибудь самодельным? А SiO напылять пробовали?

Ввод вращения сделан самодельный, стальной корпус а в нем два сальника резиновых с пружинным кольцом (т.н. кольца Зиммера), а между ними заливается вакуумное масло, и вал, полированный в месте прилегания манжет и двигатель, фото прилагаю. Фотометрирование пока не делал, т.к. не сделал еще фотометр. SiO есть немного (где потом доставать незнаю), но непробовал напылять, защиту пока делаю MgF2.

Вы написали, что у Вас нет лампы ПММ-8, у меня сейчас есть на руках лампа ПМТ-6, она вас не устроит?
также есть большая вероятность, что я ее найду нужную лампу. я готов вам ее подарить в обмен на небольшую услугу-ответьте мой на вопрос в этом форуме.

Спасибо за предложение, но ПМТ-6 мне не подходит, т.к. она расчитана на тот же диапазон, что и ПМТ-4, которую я использую, но требует другой прибор, а если поможете достать ПММ-8, буду премного благодарен.

[zosimov]

Далеко от москвы - это где?
ПММ-8 это примерно какие года производства?
есть в очень недорогом месте пмм-28, также там есть вакууметры годов 80-90 за копеечные цены. (у тебя по виду вакууметр годов 70-х)
поэтому можно собрать систему измерения давления за какие-то очень маленькие деньги.

Но я поскребу в наших запасах может найду ПММ-8.
а вход в установку для лампы какой?

[Дрюша]

Пара дилетантских вопросов автору
1. А разве резина в вакууме не газит? Я имею в виду уплотнитель. Или там какая-то особая резина? Тогда вопрос снимается.
2. А что будет, если камеру предварительно наполнить каким-нибудь инертным газом (гелием или аргоном). Сейчас баллон с таким газом можно купить достаточно свободно. Если, скажем, вакуум окажется недостаточно высоким (ну, остаточное давление будет раз в 10-100 больше чем надо), но это остаточное давление будет давлением гелия или аргона (скорее всего, там смесь инертных газов), то они будут сильно мешать осаждению паров металла? А если парциальное давление химически активных газов (прежде всего, кислорода) при этом будет в пределах самой жёсткой нормы?

[Дмитрий Маколкин]

Пара дилетантских вопросов автору
1. А разве резина в вакууме не газит? Я имею в виду уплотнитель. Или там какая-то особая резина? Тогда вопрос снимается.
2. А что будет, если камеру предварительно наполнить каким-нибудь инертным газом (гелием или аргоном). Сейчас баллон с таким газом можно купить достаточно свободно. Если, скажем, вакуум окажется недостаточно высоким (ну, остаточное давление будет раз в 10-100 больше чем надо), но это остаточное давление будет давлением гелия или аргона (скорее всего, там смесь инертных газов), то они будут сильно мешать осаждению паров металла? А если парциальное давление химически активных газов (прежде всего, кислорода) при этом будет в пределах самой жёсткой нормы?

Ну, при невысоком вакууме будут получаться рыхлые осадки с их последующим быстрым окислением. Плёнки при этом будут матовыми. А ещё длина свободного пробега станет меньше, чем размер камеры, что тоже плохо.
В отсутствии течей остаточная атмосфера в камере определяется десорбцией паров воды со стенок.

[Astel-150]

Далеко от москвы - это где?
ПММ-8 это примерно какие года производства?
есть в очень недорогом месте пмм-28, также там есть вакууметры годов 80-90 за копеечные цены. (у тебя по виду вакууметр годов 70-х)
поэтому можно собрать систему измерения давления за какие-то очень маленькие деньги.

Но я поскребу в наших запасах может найду ПММ-8.
а вход в установку для лампы какой?

Я живу в Алма-Ате. Магниторазрядный вакуумметр у меня марки ВМ-1 1964г.в. Посадочный диаметр датчика (ПММ-8) -17,5мм. Если использовать другие датчики, например ПММ-28, то нужен и сам прибор, или как минимум его схема, а так же чтоб датчик соответствовал моему входу -18мм.

1. А разве резина в вакууме не газит? Я имею в виду уплотнитель. Или там какая-то особая резина? Тогда вопрос снимается.

Любая резина газит в вакууме (даже вакуумная), но за счет маленькой площади , выходящей в сторону вакуума, и быстродействия насоса эти недостатки практически не влияют на вакуум в системе.

[Hell]

Поздравляю!!!!!!!!
сделать камеру для напыления зеркал это подвиг уж больно это сложное дело...

[Serj]

Где-то с месяц назад я поучаствовал в демонтаже подобной… э-э, ну в общем установки. Дело в том что наш политех избавляется от "ненужного хлама", и моего знакомого попросили взять её на сохранение.
Установка промышленно изготовленная, весит тонну, не меньше. Кстати, уплотнение колпака из чёрной, достаточно эластичной резины.
У меня просьба к автору - подскажите что почитать чайнику, чтобы знать принцип её работы.