Для начала могу порекомендовать сладующие книги:
"Основы конструирования вакуумных систем" Б.С. Данилин, В.Е.Минайчев изд."Энергия" Москва 1971г.
"Техника высокого вакуума" Я.Грошковский изд. "Мир" Москва 1975г.
"Основы вакуумной техники" учебник для техникумов Москва "Энергоиздат" 1981.