Спасибо большое, а вот такой вопрос вроде пока ненашёл точно, а имеет значение расстояние свечей от поверхности заготовки? и их расположение? или это неважно?
Напряжение, точнее ток разряда должет быть таким, чтоб светился весь объём камеры.
Этого достаточно.Делается очистка не на высоком вакууме, т.к. нужно некоторое количество газа в качестве рабочего тела.
А вот пылить лучше теоретически из радиуса кривизны зеркала. Покрытие ляжет ровнее.
Почему теоретически? У многих ли есть камеры под зеркала с метровыми R
По поводу расположения, аллюминий летит подобно лучам света, при умеренной скорости распыления сила тяжести не успевает заметно сказаться, но лучше чтоб поверхность была по нормали к вертикали.Т.е. либо зеркало сверху либо снизу. Поскольку внизу висит диффузионник и токоподводы, зеркало размещают сверху.
Хотя я пылил и стоящие на ребре зеркала.
