Вакуумные установки

[Борис Юрьевич]

Вот мне в голову мысль стукнула и никак не выходит, рассудите!
Если основную камеру сделать композитной. Делаем ящик нужных размеров с вырезами ил тонкого листа нержавейки или алюминия, и снаружи заливаем цельный слой полимербетона или стеклопластика на эпоксидной смоле, без пузырей разумеется, с вибротрамбовкой и вакуумированием в пакете, и толщиной несколько см. исходя из необходимой прочности. Внутренняя площадь на 99% будет закрыта металлом. Причем тотже патрубок Ф100 с флянцем под диффузионник заделать аналогичным образом, т.е. помещаем зачищенный конец патрубка в подготовленное отверстие к камере, которое имеет припуск 1...3мм и зазор также заливаем смолой без пузырей и пр. При толщине стенок 30...40мм прочность будет с большим запасом.

Борис Юрьевич вы какой замазкой пользуетесь для устранения течей? И главное каким методом их искать будете? Масспектрометром?

Насчет камеры не знаю, я не делал так, но в любом случае камера будет не дешевая.
Но, приходилось видеть японскую квадратную высоковакуумную камеру сделанную из оргстекла 15 мм, а также советскую из карболита, на черный вакуум. Замазкой для устранения течей не применяю, Крупных камер, т.е. больше 200 мм неделал, а эти камеры в заглушенном состоянии проверял давлением воздуха в 5-10 атм. Естественно все мои камеры держат избыточное давление 20 атм. Если камера выдерживает в течение часа такую пробу, то как правило, камера герметична. Устранив таким образом грубые течи, смотрим натекание камеры после многократной  откачки и ионного прогрева, составляя соответствующие графики. Если мы видим натекание не меняется, значит имеется течь, которую ищем присоеденив разрядную трубку к откачиваемому объему.и промазывая швы ацетоном, или обдувая фреоном.

[Борис Юрьевич]

Борис Юрьевич, пожоже что эта установка повторит компановку их предшественниц, Т.Е. нагромаждение узлов и агрегатов?,не практичнее стоечная компановка оборудования?

Когда перед конструктором задача: максимально высокого качества и универсальности, минимальных веса, занимаемой площади и габарита другого выхода нет, как только моноблочная компоновка, да это значительно сложнее, дороже, но когда нужны высококачественное напыление, на небольшие предметы, то вся эта сложность оправдана.

[Борис Юрьевич]

Да, трансформаторы отличные!!, подключения надо будет прикрывать силиконовыми "присосками" от анода цветного телевизора, так будет спокойнее............, и диоды в бокс.

Такие же трансформаторы применяются на установке "Слава-2", пока все:тьфу нормально.

[Stepanov]

200мм, такая маленькая!? Я почему-то был уверен что у вас камера примерно с тумбочку.
Насчет фреона - интересный метод. До какого давления светится фреон?
Насчет 20атм - это тоже неожиданно, большие камеры (20...50литров) под давлением в принципе испытывать не получится, да и если бы получилось то это смертельно опасное дело.

[Борис Юрьевич]

200мм, такая маленькая!? Я почему-то был уверен что у вас камера примерно с тумбочку.
Насчет фреона - интересный метод. До какого давления светится фреон?
Насчет 20атм - это тоже неожиданно, большие камеры (20...50литров) под давлением в принципе испытывать не получится, да и если бы получилось то это смертельно опасное дело.

Для научно исследовательских целей, диаметр камеры был нужен 70 мм, но мы остановились на диаметре 128 мм, как наиболее возможный диаметр оптики, который я буду делать в перспективе. Вакуумные установки "Слава-1" и "Слава-2"делались в 2006 году и были закончены в 2007году, в связи с большой сложностью их конструкции. При этом установка "Слава-1" предназначена в основном для напыления тугоплавких металлов танталовой группы и их оксидов, нитридов, карбидов. Установка "Слава-2"предназначена в основном для плавки электронно-лучевым способом танталовых металлов, и электронно-лучевого напыления. Для целей универсальности, обе установки имеют развитую электронно-физическую аппаратуру, обеспечивающую проведение и других научных экспериментов в области наноструктурных материалов и технологий.
Проведение сложных научно-исследовательских экспериментов, предъявляет к камерам повышеные требования к толщине стенок, для устранения вредных излучений, поэтому толщины камер в установках позволяют выдерживать избыточное давление 20 атмосфер.

[Stepanov]

Очень интересно!
А между дифузионником и камерой в вашей камере заслонка предусмотрена, и между формакуумником и камерой байпасная линия с вентилем.
Вообще очень полезно было бы сюда общую пневмосхему вакуумной части выложить.
И еще непонятно насчет порядка запуска установки.
Я правильно понимаю что сначала надо откачать из дифуззионника, потом из камеры, при этом дифузионик отключен откамеры.
Потом запустить дифузионник и закрыть байпас между форвакуумником и камерои и открыть заслонку между дифузионником и камерой когда тот на режим выйдет?

[Борис Юрьевич]

Очень интересно!
А между дифузионником и камерой в вашей камере заслонка предусмотрена, и между формакуумником и камерой байпасная линия с вентилем.
Вообще очень полезно было бы сюда общую пневмосхему вакуумной части выложить.
И еще непонятно насчет порядка запуска установки.
Я правильно понимаю что сначала надо откачать из дифуззионника, потом из камеры, при этом дифузионик отключен откамеры.
Потом запустить дифузионник и закрыть байпас между форвакуумником и камерои и открыть заслонку между дифузионником и камерой когда тот на режим выйдет?

Все вакуумные установки, которые я делал и которую делаем имеют стандартную схему с применением затвора и вентелей. Я еще в 1985 году попробовал себе сделать вакуумную установку с турбомролекулярником, но потом отказался от них навсегда, когда в результате обесточивания в турбомолекулярник попала атмосфера. Если сказать, что внутренность превратилась в кашу, значит ничего не сказать. Потом оказалось, что стоимость ремонта такого насоса практически равна его цене.
В установке "Слава-4" имеется высоковакуумный затвор диаметром 150мм и форвакуумный коммутатор на базе вакуумных вентелей ду=25. Подробно конструкция описывается в этой теме несколько раньше.

[Stepanov]

А с молекулярными работали?

[Борис Юрьевич]

А с молекулярными работали?

Нет.

[Борис Юрьевич]

Для испарения металлов из лодочки в установке "Слава-4" применяется силовой трансформатор с выходным напрядением 5,5V и током 300 А.
Вес трансформатора 7 кг.
Фото прилагаю:

[Геннадий 66.2]

Огромный недостаток трансформатора состоит в том , что намотан проводом в виниловой изоляции, винил  термоизолирует медь,
такой транс крайне желательно намотать на прямоугольном сердечнике вторичку медной шиной общим сечением не менее 32 квадратных милиметров с проставками из текстолита так-чтобы между слоями шины был воздушный промежуток, таким-же образом изготовить и первичку, поделив первчную и вторичную обмотки пополам, сетевую обмотку располжить вниз а силовую наверх.
 Изготавливать "сухие" трансформаторы большой мощьности на ш-образном железе нежелательно из соображений невозможности организовать надежное охлаждение обмоток................

[Борис Юрьевич]

Огромный недостаток трансформатора состоит в том , что намотан проводом в виниловой изоляции, винил  термоизолирует медь,
такой транс крайне желательно намотать на прямоугольном сердечнике вторичку медной шиной общим сечением не менее 32 квадратных милиметров с проставками из текстолита так-чтобы между слоями шины был воздушный промежуток, таким-же образом изготовить и первичку, поделив первчную и вторичную обмотки пополам, сетевую обмотку располжить вниз а силовую наверх.
 Изготавливать "сухие" трансформаторы большой мощьности на ш-образном железе нежелательно из соображений невозможности организовать надежное охлаждение обмоток................

Все, что Вы говорите о трансформаторах совершенно правильно, в том случае если они применяются длительно. В технике испарений в вакууме трансформаторы используются в течение не больше 1-2 минут, поэтому нагревом их можно пренебречь, но к сожалению нельзя пренебречь их электрической прочностью вторичной обмотки, которая должна уверенно держать 4 кв. Вот почему медная шина изолирована винилом. Я просто так, ничего не делаю.

[Борис Юрьевич]

Сегодня прикупил высоковольтный дроссель для выпрямителя анодного напряжения. Содержит 6000 витков, провод 0,27мм.
Вес равен 5 кг.
Фото прилагаю:

[arkturz]

Похоже, соседка Женька внесла-таки некоторый реванш в темы Бориса Юрьевича, скептических постов стало гораздо меньше и появился деловой обмен мнениями.Мои поздравления автору и...Женьке!

[Борис Юрьевич]

Похоже, соседка Женька внесла-таки некоторый реванш в темы Бориса Юрьевича, скептических постов стало гораздо меньше и появился деловой обмен мнениями.Мои поздравления автору и...Женьке!

Спасибо.

[Борис Юрьевич]

Требования техники безопасности предусматривают включение специальных световых и звуковых сигналов, во время работы высоковольтных выпрямителей на камеру, для этой цели изготовлены 2 светильника, один красного-анод, второй синего света-ионная очистка.
Вес 2-х светильников-1 кг.
Фото прилагаю:

[Stepanov]

А какое сечение провода в силовом трансформаторе?

[Борис Юрьевич]

А какое сечение провода в силовом трансформаторе?

Диаметр сетевой обмотки,1,25 мм, это вдвое больше, чем допустимо использовать в трансформаторах кратковременного включения. Чтоб в этом убедиться, посмотрите какой диаметр сетевой обмотки у трансформатора микроволновки, мощностью 2 квт., т.е ток более 11 ампер. Так вот лиаметр провода там 1,0 мм. Когда мне это сказали, я не поверил, потом специально, для этой цели купил трансформатор от микроволновки, 2квт. мощности. Фото могу скачать.

[ROVIAN]

Так вот лиаметр провода там 1,0 мм. Когда мне это сказали, я не поверил, потом специально, для этой цели купил трансформатор от микроволновки, 2квт. мощности. Фото могу скачать.

Зачем скачивать, если Вы его купили.   

[vits]

http://www.chipmaker.ru/topic/65071/page__st__20

А какое сечение провода в силовом трансформаторе?

Диаметр сетевой обмотки,1,25 мм, это вдвое больше, чем допустимо использовать в трансформаторах кратковременного включения. Чтоб в этом убедиться, посмотрите какой диаметр сетевой обмотки у трансформатора микроволновки, мощностью 2 квт., т.е ток более 11 ампер. Так вот лиаметр провода там 1,0 мм. Когда мне это сказали, я не поверил, потом специально, для этой цели купил трансформатор от микроволновки, 2квт. мощности. Фото могу скачать.

Фото необязательно.лучше взвесьте его и прозвоните какие обмотки и на какие напряжения