Вакуумные установки

[Борис Юрьевич]

Наработка насоса не более 100часов, камеру как представляется надо делать на диаметр оптики до 600мм, напыление темическое и магнетронное может и катодное но последнее по большим вопросом.
Обязательно ли камера должна быть из нержавейки, работая во НИИ,видел как  собирали камеру диаметром 1200 и длинной 4000мм в основном под катодное напыление, камера выходила на режим за 20мин, корпус был из черного металла.
Долго не могли исключить полное отсутствией течей пока корпус не покрыли силиконовым герметиком, в те времена в "ширпотребе" его небыло ( 1992год), мощность кипятильника масло-диф. была 3квт
Я конечно интересуюсь камерой в первом приближении, в инете счас трудно найти полезную инфу по этому делу, часто по ссылкам тянешь "пустышки"
Не могли-бы вы порекомедовать какую либо полезую техническую литературу или доступную тех-документацию?
Все просто, последние 15-20 лет грамотно-толковой литературы почти нет, или даже совсем нет, вот и руковдствуюсь литературой 50-60 годов, раньше писали для "болванов" а счас если и пишут то для умных людей ....................

Уважаемый Геннадий! Первое, что Вы должны сделать, Это проверить насос 2НВР-5Д, на предмет его качества, это какой  предельный вакуум он может дать. Но перед первым запуском насоса, обязательно заменить в нем масло ВМ-1 на, на свежее. Для этого на входной патрубок насоса установите переходник под манометрическую лампу ПМТ-4, или аналогичную.  Помните, строго обязательно: После выключения насоса, или его обесточивания, необходимо сразу же напустить в него воздух, вне зависимости от того работает в нем встроенный клапан самонапуска или нет. Вакуумную камеру совершенно не обязательно делать из нержавейки, можно сделать из черного металла, но естественно не ржавого.
Кроме того, Вам надо решить вопрос о приобретении термопарного вакуумметра для проверки всех изготавливаемых систем, на герметичность.
Для проверки насоса попросите у кого нибудь вакуумметр на время, проверяйте насос сами, не отдавайте его в какую небудь лабораторию.  Насосы 2НВР-5 стоят на многих установках и у меня к сожалению был случай: отдали новый 2НВР-5д на проверку, а у него всю внутренность заменили. Потом ничего не доказали.
Если насос даст по вакуумметру 5х10 минус третьей степени, значит пригоден., тогда можно продолжать работу. В вакуумной технике главный принцип:контроль и ещё раз контроль.

[Геннадий 66.2]

Спасибо Борис Юрьевич!! за вразумительный ответ!

[Mikhail Nalivkin]

Я, конечно, извиняюсь, но в форвакуумных насосах применяется масло ВМ-4 и ВМ-6. А лить дорогое ВМ-1 - это барство, или на случай изношенного насоса, так как оно более вязкое. И то мы только доливали этим маслом. И где его взять столько, оно же в ампулах по 200 мл поставлялось...
А в целом - респект, Борис Юрьевич, всё верно советуете!
Геннадий, рекомендую Кузнецова почитать - доступно и понятно.
http://www.nasos.dp.ua/biblio20.php

[Astel-150]

Я, конечно, извиняюсь, но в форвакуумных насосах применяется масло ВМ-4 и ВМ-6. А лить дорогое ВМ-1 - это барство, или на случай изношенного насоса, так как оно более вязкое. И то мы только доливали этим маслом. И где его взять столько, оно же в ампулах по 200 мл поставлялось...
А в целом - респект, Борис Юрьевич, всё верно советуете!
Геннадий, рекомендую Кузнецова почитать - доступно и понятно.
http://www.nasos.dp.ua/biblio20.php

В форвакуумники и надо лить ВМ-1, если конечно вы его не для вакууммирования литейных или штамповых форм используете. Вакуум на порядок лучше. Первый раз слышу, чтоб ВМ-1 шло в ампулах, всегда попадалось в железных квадратных канистрах по 15л.

[Mikhail Nalivkin]

Мы всегда лили в лаборатории ВМ-4, и спокойно получалось около 1х10^-2...5х10^-3 Торр, да и учили меня так. Форвакуумник какой-то польский был, двухступенчатый пластинчато-роторный. А ВМ-1 обезгаженное в ампулах - это кроме шуток! Приносили с п/я №100 (завод электронного машиностроения).
Короче, если есть ВМ-1, лейте

[Astel-150]

Мы всегда лили в лаборатории ВМ-4, и спокойно получалось около 1х10^-2...5х10^-3 Торр, да и учили меня так. Форвакуумник какой-то польский был, двухступенчатый пластинчато-роторный. А ВМ-1 обезгаженное в ампулах - это кроме шуток! Приносили с п/я №100 (завод электронного машиностроения).
Короче, если есть ВМ-1, лейте

Льем!

[Борис Юрьевич]

Я, конечно, извиняюсь, но в форвакуумных насосах применяется масло ВМ-4 и ВМ-6. А лить дорогое ВМ-1 - это барство, или на случай изношенного насоса, так как оно более вязкое. И то мы только доливали этим маслом. И где его взять столько, оно же в ампулах по 200 мл поставлялось...
А в целом - респект, Борис Юрьевич, всё верно советуете!
Геннадий, рекомендую Кузнецова почитать - доступно и понятно.
http://www.nasos.dp.ua/biblio20.php

Ещё раз повторяю, в вакуумных насосах 3НВР-1, 2НВР-5 рекомендовано по техусловиям применять вакуумное масло ВМ-1, а не ВМ-4 или 6. С   маслами ВМ-4 и ВМ-6, не только не получите минус третью степень вакуума, а запросто угробите насос.
Что касается дороговизны масла ВМ-1, то вообще занятие высоковакуумной техникой - занятие довольно-таки дорогое.
Что касается масла ВМ-1 в ампулах по 200 грамм, так это обезгаженное масло ВМ-1, предназначенное для применения в диффузионных (парамаслянных) насосах.

[Smirnov Andrey]

Я не специалист по вакуумной технике, но специалисты работают всегда рядом, на виду. У нас ВМ-1 тоже в жестяных канистрах, и никто его особо не жалеет.

[Astel-150]

Ещё раз повторяю, в вакуумных насосах 3НВР-1, 2НВР-5 рекомендовано по техусловиям применять вакуумное масло ВМ-1, а не ВМ-4 или 6. С   маслами ВМ-4 и ВМ-6, не только не получите минус третью степень вакуума, а запросто угробите насос.

Вы не правы. По паспорту эти насосы допускают использование ВМ-6 но вакуум при этом на порядок ниже.

[Борис Юрьевич]

Насосы вакуумные 2НВР-5Д, были разработаны не только для применения в установках высокого вакуума, а например: в установках обезгаживания и регенерации трансформаторных масел. Применение  масел ВМ-6 в таких установках естественно допустимо, однако, когда мы говорим о высоковакуумной установке, да ещё с магниторазрядником в ступени высокого вакуума, то естественно в форвакуумнике должно быть менее летучее вакуумное масло, т.е. ВМ-1. Каждый элемент вакуумной установки должен рассматриваться не только сам по себе, но и во взаимодействие со всеми откачными средствами, газораспределительной системой и т .д., т.е. в совокупности. Применение масла ВМ-6 в форвакуумнике приведет к выходу магниторазрядного насоса при первом же  напылении.

[Astel-150]

Применение масла ВМ-6 в форвакуумнике приведет к выходу магниторазрядного насоса при первом же  напылении.

Применение ВМ-1 тоже! Для таких целей между насосами ставят жидкоазотную ловушку.

[ysdanko]

Борис Юрьевич, ваша камера для напыления вызвала у меня наибольший интерес, в вашей камере применен сравнительно небольшой форвакуумный насос, с производительностью 1литр в сек. в диапазоне давлений 760-2мм ртутного столба и качает до -4 степени?, так-ли это?
Вопрос:- уменя есть в наличии 2нвр-5дм похожей конструкции  и параметрами с быстродейтвием 5л/сек, годится ли он в качестве форвакуумного?  насколько сложно изготовить маслянно-диффузионный нассос или эта затея обречена зарание на провал? ( при наличии нержавейки и аргона)?
 Читал что 10000вольт маловато для "генерации" гамма-квантов - энергия электрона недостаточна для этого, устойчивый ренген начинается от 20000-25000 или я заблуждаюсь?
Как решена проблемма загрязнения рабочего объема камеры  маслом?, ужне азотная "ловушка"-ли
Чем ожлаждается "диффузионник"?
 Можно-ли в качестве высоковакуумного нассоса применить магнито-разрядный нассос с аксиальным расположением магнитов и полей и производительностью по гелию  17л/сек для получения более чистого вакуума? или для работы обязательны нассосы с огромной производительностью часто превышаюшие объем самой камеры? проясните этот вопрос пожалуйста думаю это будет интересно не только мне, поскольку тема напыления покрытий очень "болезненна" для многих.

Много полезной инфы по этим вопросам содержиться на специализированом сайте...Советую посетить всем заинтересованым лицам
http://www.vacuum.ru/vacuum.html

[Борис Юрьевич]

Применение масла ВМ-6 в форвакуумнике приведет к выходу магниторазрядного насоса при первом же  напылении.

Применение ВМ-1 тоже! Для таких целей между насосами ставят жидкоазотную ловушку.

Жидкоазотные ловушки применяются в высоковавакуумных системах, для вымораживания паров масел, когда необходим вакуум, выше чем 1х 10минус 6 степени. Для установок термического напыления, которое как правило осуществляется при вакууме не выше 5х10минус 5 степень, для конденсации паров масла вполне хватает и водяного охлаждения ловушек.
Для защиты магниторазрядного насоса от паров масел, обязательно применяется ионная водоохлаждаемая ловушка. В таком случае, если включение магниторазрядного насоса производится при вакууме 1х10-2, ему ничего не будет.
Проверено, лично. Первая вакуумная установка с камерой диам 220 мм, была оснащена такой системой откачки, при этом магниторазрядный аксиальный насос (собственной конструкции) и ионная ловушка питались от одного источника питания (регулируемое2-5 KV.

[ysdanko]

Про ловушку, совершенно верно. Был у нас микроскоп (электронный) РЭМ-700, с магниторазрядным насосом, работал сутками, азота на него не напасешся...Насос Норд, конструкцию не помню, но качали без азота, вакуум порядка в минус восьмой...

[gar298]

в фор насос всегда лью  50-50  четное  и нечетное  в  дифф  тока  нечетное  вм5 в  металлических банках точно  надо  вода есть
если  кому  нужно могу  выложить  про насосы  фор и дифф тока  не наши бальцерс  лейбольд  пфайфер

[Борис Юрьевич]

Уважаемые коллеги! Последним достижением в вакуумной технике Вашего покорного слуги было изготовление электронно-лучевой установки "Слава-2", которая предназначена для плавки с помощью самодельной ЭЛП и разливки в вакууме титана, циркония и необия. У меня на СД есть все снимки блоков узлов и т.д. Мне его просто надо найти в моих завалах и опубликовать. Эта установка стоит у меня в соседней комнате и у меня пока нет возможности её заново сфотографировать.
Так вот, для того, что бы Вы поняли сложность этой работы, представьте себе конструкцию массой 200 кг, которая состоит не только из вакуумных агрегатов, баллонов, разной механической арматуры и все это подключается с помощью более ста штепсельных разъемов. Так вот, дорогие друзья, установка"Слава-2", по сложности не уступит любому спутнику. Но спутники делают большие коллективы ученых и конструкторов, а электронно-лучевую установку "Слава-2" я сделал один, начиная от разработки конструкции, её комплектацию, её сборку и наладку.
Эта установка не только мое личное достижение, это россияне на общий успех.
Вот, что мы с Вами можем дорогие соотечественники. Мне не известно, кто ещё в мире собрал такого типа установку. Слава России!
Ну а то, что наша власть на это смотрит с олимпийским безразличием, так это тоже "нормально". Просто у нас и у власти разные задачи: МЫ изобретатели, ученые, конструкторы должны удивлять мир, а у них - другая задача: пилить бюджет и набивать свои бездонные карманы.

[sachascop]

Уважаемый Борис Юрьевич ! Я очень горжусь ,что в нашей стране есть и будут такие УМЫ , но обидно , что ваши знания пропадают в квартире.

[I.A.R.]

Уважаемый Борис Юрьевич! Я очень горжусь ,что в нашей стране есть и будут такие УМЫ , но обидно , что ваши знания пропадают в квартире.

А без учеников-помощников, которые бы понимали во всем этом толк и были бы готовы подхватить наработанное, вообще рискует все сгинуть. Родственники или знакомые поди не понимают ценности всего этого. Для них наверняка это просто какие-то железки да проводочки. Почти хлам...

[sachascop]

Эх, организаторская работа велась бы сверху , во всех областях весь мир переплюнули бы.

[gar298]

да если  пушка  самопал  то енто  интересно  думаю всем если   не затруднит  фотки пушки  и бп