Самодельная вакуумная камера.

[Astel-150]

Вот, наконц, взялся за изготовление второй камеры, внутренним диаметром 400мм, для деталей до 340мм. Решил весь процесс описывать на форуме. Завтра выложу первые фотки.
У кого есть вопросы или дельные советы - вел ком!

[Дмитрий Маколкин]

Вот, наконц, взялся за изготовление второй камеры, внутренним диаметром 400мм, для деталей до 340мм. Решил весь процесс описывать на форуме. Завтра выложу первые фотки.
У кого есть вопросы или дельные советы - вел ком!

О! Очень интересно!

Сразу вопрос, электронно-лучевая пушка планируется?
Чем толщину слоёв будете мерить?
Или будет только резистивное испарение для алюминирования?

[Astel-150]

Пушка планируетса иначе не очень интересно. Правда пока в голове нету 100% видения ее конструкции. Наверное придется методом проб и ошибок. Контроль толщины планирую сделать нечто похожее на СФКТ.

[Дмитрий Маколкин]

Пушка планируетса иначе не очень интересно. Правда пока в голове нету 100% видения ее конструкции. Наверное придется методом проб и ошибок. Контроль толщины планирую сделать нечто похожее на СФКТ.

СФКТ - это очень правильно, поддерживаю всемерно!
Но пуша потянет за собой водяное охлаждение и применение синхронного детектора в фотометрии...

[GLOK]

С синхронным детектором понятно, это сразу планировалось...а насчёт водяного охлаждения пушки-какие там обычно токи луча, катода ?

[Astel-150]

В водяном охлаждении проблем нету, тем более оно там все равно будет (насос, ловушки...).
Токи в пушке до 500мА. В моей наверное до 300мА. Завист от напряжения. Вот думаю, хватит ли 6кВ?

[GLOK]

Ну тогда в принципе мало отличается от значений тока пушки кинескопов...если из известного тебе металла выточить, можно и без охлаждения....

[ysdanko]

НА старой установке ВУПП-5 и 6 все пушки работали без охлаждения, но там электроды изготовлены из титана ...
На ВУПП-5 напылял зеркало диаметром 210 мм, кроме того пушки позволяли наносить покрытия даже из нитрида титана...
На этой установке охлаждались только ловушки и рубашка парамасленного насоса ...

Напряжение на пушке (если память не изменяет ) около 15-20Кв...

[Дмитрий Маколкин]

Ну тогда в принципе мало отличается от значений тока пушки кинескопов...если из известного тебе металла выточить, можно и без охлаждения....

Охлаждать надо тигель для пленкообразующего материала, тигель обычно медный, водоохлаждаемый.

[GLOK]

Понял, про него не подумал...

[Дмитрий Маколкин]

НА старой установке ВУПП-5 и 6 все пушки работали без охлаждения, но там электроды изготовлены из титана ...
На ВУПП-5 напылял зеркало диаметром 210 мм, кроме того пушки позволяли наносить покрытия даже из нитрида титана...
На этой установке охлаждались только ловушки и рубашка парамасленного насоса ...

Напряжение на пушке (если память не изменяет ) около 15-20Кв...

Я работал на ВУ-1 и ВУ-2М, там использовался УЭЛИ-1 с напряжениями 6 и 12кВ, насколько я помню. Вот токи не скажу...
Помнится, на ВУ-1 не работал блок накала катода, так вместо него поставили большой ЛАТР перед понижающим трансформатором с гальванической развязкой, так и работали...
Так что в принципе можно обойтись источником высокого напряжения и хорошо развязанным понижающим трансформатором, ну и для отклонения луча катушки тоже чем-то питать придётся.

[Дмитрий Маколкин]

Понял, про него не подумал...

Если хотите, можно по Скайпу связаться и обсудить... Пишите в личку, если что.

[ysdanko]

Если использование установки планируется только для себя, то можно обойтись и простыми резистивными испарителями....и даже не заморачиваться с нанесением дополнительных защитных и прочих слоев ...Всегда будет иметься возможность перенапылить зеркало хотя бы раз в полгода ...Если же планируется "коммерческое" использование, то на этом проекте можно сразу ставить жирный крест

[Astel-150]

Если использование установки планируется только для себя, то можно обойтись и простыми резистивными испарителями....и даже не заморачиваться с нанесением дополнительных защитных и прочих слоев ...Всегда будет иметься возможность перенапылить зеркало хотя бы раз в полгода ...Если же планируется "коммерческое" использование, то на этом проекте можно сразу ставить жирный крест

Это почему же на этом проекте, в случае коммерческого применения, надо ставить жирный крест?

[Astel-150]

Я работал на ВУ-1 и ВУ-2М, там использовался УЭЛИ-1 с напряжениями 6 и 12кВ, насколько я помню. Вот токи не скажу...
Помнится, на ВУ-1 не работал блок накала катода, так вместо него поставили большой ЛАТР перед понижающим трансформатором с гальванической развязкой, так и работали...
Так что в принципе можно обойтись источником высокого напряжения и хорошо развязанным понижающим трансформатором, ну и для отклонения луча катушки тоже чем-то питать придётся.

Вот у меня и стоит вопрос, в каких случаях используют 12, а в каких 6. Я по току ограничен, точнее по мощности 1-1,5кВт. в первом случае ток макс 125мА а во втором 250мА. Что предпочтительнее?

[GLOK]

Понял, про него не подумал...

Если хотите, можно по Скайпу связаться и обсудить... Пишите в личку, если что.

Спасибо, за предложение...но это к Сашке-он голова и руки проэкта..я так, полукритик, полуконсультант -кем прийдётся.

[GLOK]

"...12, а в каких 6 в......."
Саня..мы-же это обсуждали ?
...если ограничен током-поднимай напряжение!
Эммисия зависит от приложенной мощности (температыры катода).

".....Плотность тока насыщения определяется формулой Ричардсона — Дешмана, выведенной теоретически на основе квантовой статистики: j = CT2e − A  / kT, где А — работа выхода электронов из катода, Т — термодинамическая температура, С — постоянная, теоретически одинаковая для всех металлов......"

[Дмитрий Маколкин]

Вот у меня и стоит вопрос, в каких случаях используют 12, а в каких 6. Я по току ограничен, точнее по мощности 1-1,5кВт. в первом случае ток макс 125мА а во втором 250мА. Что предпочтительнее?

Я использовал 12кВ при испарении тугоплавких оксидов - ZrO₂, Al₂O₃, а 6кВ - для испарения MgF₂.
Фактически, напряжением мощность испарения регулировалась ступенчато, а током накала катода - плавно.
Теоретически, хорошо бы иметь возможность стабилизации тока луча управлением тока накала, но как показала практика - можно и без этого если стоит кварцевый измеритель толщины и за скоростью испарения можно следить непосредственно. Я так и делал, просто регулировал ток накала для поддержания нужной скорости. По оптическому контролю это делать неудобно, всегда охота поддать скорости при прохождении точки экстремума.

[Astel-150]

Я использовал 12кВ при испарении тугоплавких оксидов - ZrO₂, Al₂O₃, а 6кВ - для испарения MgF₂.
Фактически, напряжением мощность испарения регулировалась ступенчато, а током накала катода - плавно.
Теоретически, хорошо бы иметь возможность стабилизации тока луча управлением тока накала, но как показала практика - можно и без этого если стоит кварцевый измеритель толщины и за скоростью испарения можно следить непосредственно. Я так и делал, просто регулировал ток накала для поддержания нужной скорости. По оптическому контролю это делать неудобно, всегда охота поддать скорости при прохождении точки экстремума.

Т.е. в Ву-1А напряжением меняется просто мощность? Разницы нету если у меня будет 6кВ и 250мА или 12кВ и 125мА?

[Дмитрий Маколкин]

Я использовал 12кВ при испарении тугоплавких оксидов - ZrO₂, Al₂O₃, а 6кВ - для испарения MgF₂.
Фактически, напряжением мощность испарения регулировалась ступенчато, а током накала катода - плавно.
Теоретически, хорошо бы иметь возможность стабилизации тока луча управлением тока накала, но как показала практика - можно и без этого если стоит кварцевый измеритель толщины и за скоростью испарения можно следить непосредственно. Я так и делал, просто регулировал ток накала для поддержания нужной скорости. По оптическому контролю это делать неудобно, всегда охота поддать скорости при прохождении точки экстремума.

Т.е. в Ву-1А напряжением меняется просто мощность? Разницы нету если у меня будет 6кВ и 250мА или 12кВ и 125мА?

Теоретически - да. Ток даёт нам количество электронов, а разность потенциалов - энергию электронов.
Косвенно напряжение будет влиять на работу магнитной системы управления лучом.