Термоиспарительный это в смысле паромасляный? Ну вы ребяты отчаянные, удачи вам! Просто начинают такие мегапроекты обычно с поиска и изучения соответствующей литературы. Я сколько не рыскал по библиотекам, так и не нашёл книги с практическим описанием процесса вакуумного напыления. Может не там искал?