//А зеркало кто произвел?
х.з. - пришло без метки и крайне плотно сидящим в оправе. Метку нанесли маркером (нормальные метки уже упакованы - не найти), лапки расслабили полностью. Собрали-проверили. Не помогло. Отклеили одну из матерчатых торцевых прокладок (она теперь приклеена к торцевой же поверхности ГЗ на одном из её свободных участков, чтобы не потерялась) - полегчало, но не в достаточной мере. Вероятно ГЗ (после удаления этой прокладки) не слишком удачно разместилось в оправе. Думается, что если все торцевые прокладки сменить на более тонкие, обеспечив достаточную свободу и симметрию опор главному зеркалу и производить контроль в положении не на торце, а под некоторым углом к горизонту - астигматизм в изображении точки значительно уменьшится.
//Немного только что оборудование старое.
Да. Фазового сдвига (следующего поколения машинок для ополосачивания) у нас действительно нет

Что касается софта - всё забугорное. Такое же как и у них
Трассировка по полоскам на данном этапе представляется исчерпывающей методикой, позволяющей адекватно проводить экспресс-тестирование в условиях далёких от идеальных. Для фазового анализа нужны ИГ почище.