Ионная полировка в вакууме оптических деталей ионным пучком

[VACTIME]

Требования которые были для проектирования и разработки установки для напыления алюминия на зеркала для КГО ГАИШ МГУ

Величина коэффициента отражения покрытия:
85% для излучения в видимом диапазоне спектра (0,38 – 0,78 мкм) для многослойных отражающих покрытий на основе алюминия (среднее значение), не ниже 80% в диапазоне 0,32-0,38 мкм и не ниже 90% в диапазоне 1,0 - 2,5 мкм.
Величина коэффициента отражения многослойного покрытия на основе  серебра 94% для излучения в диапазоне длин волн 0,38 мкм – 0,78 мкм (среднее значение), и не ниже 94% в диапазоне 1,0 - 2,5 мкм.
Предельное значение неравномерности общей толщины покрытия по отражающей поверхности - не более 5%.
Общая толщина наносимых покрытий должна составлять не более 350 нм.
Механическая прочность и влагопрочность покрытия должна быть не  хуже 2 группы по ОСТ3.1901-95.
Установка должна обеспечить осаждение покрытий с заданными характеристиками на отражающую поверхность зеркал телескопа.
Максимальная масса детали для покрытия  - 3000 кг.
Максимальный диаметр подложки – 2600 мм. а

А как тут фотографии выкладывать, можно как то, они все лимитированы размером файла. Как мне схемы и чертежи выложить?

[VACTIME]

Золото напылять - не бог весть какая задача. Оно пассивно, легкоиспаряемо.... и др. А вот какой-то бы активный металл напылять типа там натрия? это как? Или что-то высокотемпературное/тугоплавкое порядка вольфрама/рения/оксидов тугоплавких....

Напылять покрытия можно резистивным методом и электронно-лучевым. Также оптические покрытия могут наноситься многослойные.

Сам процесс представляет из себя http://www.youtube.com/watch?v=IU154NUph4w

На видео показано как инженер в тигель испарителя электронной пушки закладывает испаряемый материал, он может быть порошок, пресованый в таблетки итд, у источника есть возможность равномерно распылять материал, даже если сплав с разным КТР, сделает так что распылится равномерно). Тугоплавкие металлы без проблем как тузик грелку))
А немного выше в камере от Электронной пушки в виде цилиндра показан ионный источник или пушка кауфмана, для ионного ассистирования и предварительной очистки оптических деталей перед напылением покрытия.

[ekvi]

в одну кучу я бы их не смешивал

Заводской инженер отвечает с цифрами и лаконично. Уже 4-я страница,а всего 3 цифры.
Такое впечатление, что студент вернулся с экскурсии, глаза вразбег и восторги ещё не отделил от сухого остатка.

охлаждают поверхность проточной водой, иногда газом

Зачем эти подробности? Никто из присутствующих не раскошелится создавать подобную установку: это возможно на госуровне.

[gar298]

для  стекла скорее всего надо  вч ионник

[VACTIME]

Фотография установки для напыления алюминия магнетронным способом. Процесс при вакууме 1*10-6 мбар.

[VACTIME]

Схема подключения основных компонентов к установки, линия подачи газов к магнетронам, откачная вакуумная система итд.

[VACTIME]

Компоновка основных узлов

[VACTIME]

В установке:
Показано на чертежах сверху
Три прямоугольных магнетронных источника мощностью 20kW с водяным охлаждением содержат алюминиевые мишени размером 180 мм x 1000 мм. магнетроны сконструированы таким образом, что магниты изолированы от охлаждающей воды. Магнетроны поддерживаются в верхней камере с помощью механизмов для регулировки расстояния и угла для нисходящего осаждения на зеркало телескопа. Защитный слой на основе SiO2 для покрытия Al и Ag наносится с помощью ионного реактивного распыления- Кремниевой мишени высокой чистоты с использованием импульсного источника постоянного тока.

3-тонное зеркало поддерживается в нижней части камеры на центральной поворотной ступице. Рычаги от центральной ступицы ведут к трем 9-точечным кинематическим опорам с мягкими накладками, на которые зеркало опирается в процессе повторного нанесения покрытия. Расположение этих опор имеет решающее значение, так как они должны принимать вес зеркала. Для определения оптимального положения зеркальных опор использовалась система моделирования

В приложении фотография.

[библиограф]

 А мне вот интересно: на фотографии в подписи слово алюминизация, это калька с английского
aluminization
И в другом вашем сообщении:

Я участвовал в проекте по поставке вакуумной напылительной установки для алюминизации поверхности зеркала большого астрономического телескопа по заказу и для нужд астрофизической обсерватории в Карачаро-черкесии.

Вы , похоже, не слышали, что зеркала  алюминируют а не алюминизируют; это
наводит на некоторые подозрения
Известна ли вам разница между этими двумя терминами - или для вас эти два слова означают одно и тоже?
Карачаро-черкесия  - это где-то в степях Тартарии ?

Ты говоришь, что у тебя по географии трояк
          Виктор Цой

[VACTIME]

Спасибо за замечание, опечатка. Алюминирование на поверхности слоя алюминия. Алюминизация я не знаю что это такое, но догадываюсь)) Расскажите нам об этом больше.

[библиограф]

Спасибо за замечание, опечатка

Опечатка дважды?
Знаете, Бендер, я не верю!

[ekvi]

это калька с английского

++

[VACTIME]

В приложение фотография установки для алюминирования зеркал, это комплекс оборудования для осаждения высококачественных многослойный отражающих покрытий на зеркала 2,5 метра телескопа.

[ysdanko]

В установке:
Показано на чертежах сверху
Три прямоугольных магнетронных источника мощностью 20kW с водяным охлаждением содержат алюминиевые мишени размером 180 мм x 1000 мм.

А как при такой геометрии камеры (камера достаточно низкая для такого размера зеркала) и магнетронов решается вопрос о равномерности толщины отражающего слоя по площади зеркала?

[rigel14]

А как при такой геометрии камеры (камера достаточно низкая для такого размера зеркала) и магнетронов решается вопрос о равномерности толщины отражающего слоя по площади зеркала?

Только вращение и маски...

[ekvi]

А как при такой геометрии камеры (камера достаточно низкая для такого размера зеркала) и магнетронов решается вопрос о равномерности толщины отражающего слоя по площади зеркала?

Этот вопрос, видимо, слишком сложен для ТС ...
Тут одного вращения детали недостаточно. Требуется ещё, как в том анекдоте, ещё и помахивать источником по определённому закону, зависящему от конфигурации.
В 1990-е, когда нужно было покрыть плоское зеркало Ф 350 мм, я своим коллегам специально оговаривал этот вопрос. И они с честью решил задачу: у них такие наработки уже были.

[rigel14]

Этот вопрос, видимо, слишком сложен для ТС ...
Тут одного вращения детали недостаточно. Требуется ещё, как в том анекдоте, ещё и помахивать источником по определённому закону, зависящему от конфигурации.
В 1990-е, когда нужно было покрыть плоское зеркало Ф 350 мм, я своим коллегам специально оговаривал этот вопрос. И они с честью решил задачу: у них такие наработки уже были.

Кроме вращения  достаточно применить маски специальной формы.Вся проблема правильно их посчитать. С магнетронами проще чем с высоковакуумными испарителями. Наличие аргона обеспечивает довольно большое рассеивание испаряемого материала, что  в определённой степени сглаживает неравномерности.

[gar298]

магнетрон должен быть прим на 20 проц больше подложки  и алюминий  если окислен трудно зажечь разряд можно и трубчатый с бегующим разрядом

[VACTIME]

Три магнетрона использовались для распыления алюминия. Зоны напыления перекрещиваются, можно с помощью программы детально рассчитать перекрытия зон и обеспечить равномерность покрытия с учетом масок подвижных. Вращение подложкодержателя опоры для зеркало тоже повышает равномерность. Японская компания Шинкрон специалисты в области оптических покрытий получают на диаметре около трех метров равномерность покрытий по диаметру меньше 1 процента. Но и оборудование у них стоит, а так современная техника позволяет.

[VACTIME]

на эскизе чертежа показано расположение магнетронов, их расположение просчитано детально математическими методами и зона распыления. Магнетроны поворотные на угол как правило до 30 градусов.