Д575мм д19мм f 3,8

[Алексей Юдин]

В грубых принципиальных картинках эту тему обсуждать абсолютно бессмысленно - тут не катят пластилиновые макеты в духе "Юный техник"/ академический вуз.

[I.Honta]

способы экспонирования в фотолитографии, вряд-ли тут требуется высокая точность от оптики как таковой. Шаблон , да точный, но его получают из неточного масштабированием.

а шаблон чем получен?

[Alex_6619]

способы экспонирования в фотолитографии, вряд-ли тут требуется высокая точность от оптики как таковой. Шаблон , да точный, но его получают из неточного масштабированием.

а шаблон чем получен?

Например, электронно-лучевая литография(ЭЛ) - метод изготовления субмикронных и наноразмерных топологических элементов посредством экспонирования электронным лучом электрически чувствительных поверхностей. Метод схож с фотолитографией, но использует электроны вместо фотонов.
ЭЛ используется для создания масок для фотолитографии, в производстве штучных компонентов, если требуется нанометровое разрешение, в промышленности и научной деятельности.

[vadim-]

а шаблон чем получен?

ну не "оптическими поверхностями-же" (смайлик сарказма). Вакуум, электроны, отклоняющие э-магниты.

[Алексей Юдин]

способы экспонирования в фотолитографии, вряд-ли тут требуется высокая точность от оптики как таковой.

Ну вот какой смысл кидаться досужими домыслами? Откройте Линя, он прямо пишет о точности преломлющей поверхности л/50-л/100, а для отражающей соответственно выше (а ещё в степперах любят Манжены, это совсем труба...)
Лямбда 193 нм, для всех современных серийных производств. Всё сверх школьной л/2 разрешения достигается извращениями различного толка.
Любой реальный техпроцесс сейчас из-за этого не настоящий, предельным разрешением обладают только некоторые критические слои, как правило простой периодической структуры, вокруг которой уже делается остальное.

А никак не "нарисовал транзистор - сфотографировал транзистор, что-то видно и то счастье..."

[Грехов Михаил]

Как на лямбде 193нм получить современный техпроцесс в 22-14нм?

[Алексей Юдин]

Как на лямбде 193нм получить современный техпроцесс в 22-14нм?

Вот этим, Миша, и надо было озаботиться перед тем, как писать такое:

Думаю, что точность поверхности кремниевой пластины под процессоры на самом деле невелика. Нет особой необходимости все точно выдержать. Главное не поверхность, а одинаковость глубин травления по этой поверхности. Тем паче, что потом пластину разламывают на отдельные чипы и по чипу там будет на порядок меньшая цифра.

Ну просто чтобы хотя бы представлять как работает степпер, для элементарной эрудиции не насчёт далёких чёрных дыр и квазаров, а касательно того что лежит в кармане и стоит на столе.

[Грехов Михаил]

Едрыть её налево! Техпроцесс и точность поверхности-разные вещи!!!! Для изготовления микросхем особо большой точности поверхности не нужно!  Даже разрешено в процессе литографии пластине изгибаться в некотором пределе. Ведь она жутко тонкая по отношению к её диаметру.

[Алексей Юдин]

Вот именно - тебе говорят про Фому, ну а ты, по наработанной годами привычке - про Ерёму. И мимо темы, и без представления о сути и сложности вопроса!

А дальше уже обывательские мечты о "наступившем коммунизме" пошли, что раз процессоры 14 нм, то и лямбда уже такая же или около того. Ан-нет, мир куда сложнее и любые реальные достижения даются большой кровью и недюжинным напряжением умов, не балабольствами со словами "наверное ничего сложного в этом нет..."

[Грехов Михаил]

Нужны пруфы Билли. Нас рассудят пруфы... Без оных и реальных техдокументов и требований на кремниевые пластины для фотолитографии еще непонятно на чьей стороне правда.

[Алексей Юдин]

Миш, при чём тут вообще пластины, когда мы говорим о точности объектива? Ты забыл уже, что обсуждение идёт точности оптических поверхностей на переднем крае индустрии, по сравнению с которыми подвальный эталон л/25 - недорогая обыденность?

Ты сам придумал что надо поговорить про кремниевую пластину и сам же это продолжаешь.

В чём разница между нами? Ты лепишь и лепишь беспочвенные домыслы, а я когда изучаю литературу, провожу расчёты, консультируюсь с надёжными людьми в теме.

Сейчас, чтобы написать о точности фотолитографического объектива, я взял с полки томик Линя (да-да, вот просто так, в бумаге), где прочитал конкретные цифры, на стр. 167, раздел 5.4.4 Lens fabrication, электронку думаю сам найдёшь, она точно есть.

Бери с меня пример - тогда у тебя сократится частота постов и снизится темп их пропуска форумчанами. Может ты даже повысишь свою принадлежность к игнор-листам, а это дорогого стоит!

[Грехов Михаил]

Миш, при чём тут вообще пластины, когда мы говорим о точности объектива?

При том, что моя цитата, которую ты привел в сообщении 1087 и выставил её как опрометчиво сказанную, неверную, касается точности пластин. Про объективы я вообще ничего нигде не упоминал!

В чём разница между нами? Ты лепишь и лепишь беспочвенные домыслы, а я когда изучаю литературу, провожу расчёты, консультируюсь с надёжными людьми в теме.

Ну так тогда приведи скрин этой литературы, мнение уважаемого человека, который съел на этом не одну собаку и написал много статей.  Ведь это же в твоих интересах положить оппонента на лопатки верной информацией.

[nolv]

Ну так тогда приведи скрин этой литературы,

Нотариально заверенный скрин.

[Alex_6619]

Фото такого объектива

[Грехов Михаил]

По пластинам кстати говоря нарыл в инете вот такой материал:

http://cyberleninka.ru/article/n/metod-i-ustanovka-kontrolya-ploskostnosti-kremnievyh-plastin

Откуда следует, что точность поверхности на диаметре 100мм вообще никакая - 24мкм и 12мкм (пару случаев рассмотрено). А у ГЗ для видимой оптики нужно 0,05мкм.

[Алексей Юдин]

Откуда следует, что точность поверхности на диаметре 100мм вообще никакая - 24мкм и 12мкм (пару случаев рассмотрено).

Если ты так хочешь поговорить на свою тему, перейдя от точности объектива к точности фотоматериала (что само по себе смешно в контексте разговора про телескоп Оганеса), то тем более читай Линя целиком. А то зачем-то ты приводишь ссылку на отечественную разработку для пластины 100 мм и не говоришь ни о техпроцессе, ни о поле зрения степпера. Это несерьёзно, изучай http://libgen.io/book/index.php?md5=B8BD7DB43775A5DD3C45F86EEBA5D693

Тогда и разговаривать с тобой о чём-то будет возможно, а не как сейчас, на один ответ ты задаёшь ещё несколько вопросов.

Чтобы котелок варил, в него надо что-то закидывать. Из ничего ничего не выйдет, когда в голове пусто, из неё только смешные фантазии, оторванные от реальности пойдут.

При том, что моя цитата, которую ты привел в сообщении 1087 и выставил её как опрометчиво сказанную, неверную, касается точности пластин. Про объективы я вообще ничего нигде не упоминал!

Я цитату привёл не как предмет обсуждения, а как показатель абсурдного факта, что ты совсем ни бум-бум в теме, а пытаешься измышления высказывать.

Ведь это же в твоих интересах положить оппонента на лопатки верной информацией.

Отнюдь - разговор же ни о чём, вполне достаточно просто поглумиться!

[ysdanko]

Это несерьёзно, изучай http://libgen.io/book/index.php?md5=B8BD7DB43775A5DD3C45F86EEBA5D693

А зачем это Михаилу?
Достаточно и этого http://compress.ru/article.aspx?id=20185   

[Alex_6619]

Про современную литографию  http://www.electrosad.ru/files/seisjan.pdf и
https://yadi.sk/i/q7Vb40ir33he3a

[Грехов Михаил]

Достаточно и этого http://compress.ru/article.aspx?id=20185

Материал Алексея не читал еще. А в этом материале никакой информации и требований к точности пластин.

[Alex_6619]

Про пластины известно, диаметр 300 мм и толщина чуть менее 1 мм, а потому и точность соответствующая. Далее собираются переходить на 450 мм. https://habrahabr.ru/company/intel/blog/110234/