Если требуется небольшое количество слоёв ,в любительской практике ,на мой взгляд проще осваивать метод кварцевого контроля либо
Я пользовался одновременно и кварцевым толщиномером, и оптическим методом. По толщиномеру регулировал скорость испарения, по оптике - достижение нужной толщины.
Точность оптического метода выше, он учитывает возможные колебания коэффициента преломления пленкообразующих веществ. Могу поднять старый свой журнал, куда записывал получившиеся по кварцу толщины, но и без этого помню, что разброс был слишком большой.
Делал как раз именно трехслойное просветляющее покрытие.
Так что оптика и в простых случаях выигрывает. Модуляционный режим с синхронным детектированием очень хорошо отстраивается от помех.
